icp-msの原理
icp-ms（誘導結合プラズマ質量分析計）の原理
icp-ms は、高感度な多元素分析を高実現する元素分析裝置です。プラズマ （icp） をイオン源として使用し、発生したイオンを質量分析部 （ms） で検出します。週期表上のほとんどすべての元素を同時に測定可能であり、測定元素についてサブ ng/l （ppt） の濃度レベルで測定できます。
また、定性分析、半定量分析、定量分析を実行でき、質量分析であるため同位體比測定も可能です。
図1. agilent icp-msの構成
イオン源としてのプラズマ
一般に、液體匯入化します。ダブルパス型採用により、安定匯入ar） ガスは石英制トーチに匯入され、icp （誘導結合プラズマ） を形成します。トーチは、rf エネルギーが印加された rf コイルの中心に位置します。
強力な高週波が ar 原子同士の衝突を発生させ、高生成します。エアロゾル化溫度は 6,000 10,000k） 內で瞬時に分解し、測定対象元素は原子化、そしてイオン化されます。発生高真空狀態 （通常は 10-4pa） に維持された質量分析部に送られます。
この真空狀態は、差動排気により維持され、測定対象呼ばれる一対のオリフィスを通って導かれます。
ors コリジョンセル
起因する幹渉を除去しています。
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四重極質量アナライザ
次に、測定元素四重極質量アナライザに収束され、質量電荷比に基づいて分離されます。「四重極」という用語は、質量アナライザが基本的に4本の平行なロッドから構成rf 電圧と dc 電圧を組み合わせて印加することに由來しています。この電圧の組み合わせにより、四重極質量アナライザは、特定の質量電荷比を持つイオンのみを透過
検出器最後に、イオンは二次電子増倍管で測定され、質量數ごとの訊號となります。
質量スペクトル
得られる質量各元素の同位體の訊號がそれぞれの質量數 （たとえば al は 27amu） に現れ、その訊號強度は、サンプル溶液內の當該同位體の濃度に比例します。低質量數のリチウム （li） から高質量數のウラン （u） までの多數の元素を同時に分析でき、所要時間は通常 1 ～ 3分程度です。icp-ms を使用すると、ppt オーダーから ppm オーダーまでの濃度のさまざまな元素を一度に測定できます。
アプリケーション
icp-ms は、微量元素の測定を行う主要分析ツールとして、半導體、環境分析、地質學、化學、原子力、クリニカルおよび各種研究所をはじめとする幅広い業界で使用されています。
半導體環境 化學
食品 醫薬品
関連情報：
agilent technologiesのicp-ms
環境への応用
食品への応用
半導體業界における分析
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