目錄金剛石膜裝置概述
原理 主要引數
搬運 安裝
操作方法
安全與維護
一、 金剛石膜裝置概述
金剛石膜是一種人工合成的新型功能材料，是由金剛石的奈米晶體構成，具有和金剛石相同的光學、力學、化學、電學、熱學、醫學和聲學效能，是二十一世紀材料學家譽為現有材料中的全能材料。
深圳市雷地實業科技公司是專業從事金剛石膜技術研究及金剛石膜產品應用的高新技術企業. 是國內唯一擁有在常溫下大面積生成金剛膜材料技術的企業,是國家首批高新技術研究發展計畫（國家863計畫）成果產業化基地之一，所開發、生產、經營的金剛石膜系列產品和專案，全部擁有自主智財權，取得了從裝置、工藝到產品的12項專利. 雷地公司研製的ld—ⅱ金剛石膜生產裝置，生產的金剛石膜材料具有高硬度，高透光率，耐磨損、耐腐蝕、生物惰性、導熱優良和傳音速度高等優良效能，可廣泛用於電子、機械、化工、軍工、輕工、航空、航天、醫療等領域，可在玻璃、金屬、塑料、陶瓷等各種材料表面成膜。
ld-ⅱ型金剛石膜生產裝置
二、 原理
ld-ⅱ性金剛石膜生產裝置是採用化學氣相沉積（cvd）和物理氣相沉積（pvd）相結合新型的金剛石膜生長裝置。
ld-ⅱ性金剛石膜生產裝置是由真空系統、反應系統、進氣系統、等離子電源、電器控制系統等構成。 原理是採用特殊結構的等離子體電源對通入的含碳工作氣體進行穩定的離化，使得碳原子規則有序的定向沉積在被鍍得工件表面。
三 、主要引數
1、真空度5pa
2、抽氣速率： 8l/min
3、真空室尺寸： ф335㎜×350㎜（深）
4、電源總功率： 5.6kw
5、實際消耗功率： 2kw/h
6、重量400kg
7、外形尺寸： 870㎜（長）×700（寬）㎜×1740㎜（高）
四、搬運
1、裝置與關鍵配件應分別運輸；
2、裝置在搬運時，不能橫倒、傾斜；
3、裝置在搬運時，盡量防止衝擊、劇烈的震動。
4、用鋼索吊運裝置時與裝置接觸處應襯以軟質厚墊，吊執行前應檢驗所用吊索強度是否合適。
五、安裝
1、場地要求
裝置安裝的場地應平整，考慮到裝置周圍有足夠的空間，以保證裝置的各個部件可以進行檢修。裝置安裝場地的環境要求相對潔淨和乾燥同時必須有足夠的照明設施。
2、裝置電源
裝置電源為三相交流電（380v），單台裝置的電源容量不得小於5kw。
3、冷卻系統
裝置試車前應接通冷卻水，對裝置真空系統進行冷卻。
4、裝置接地
單台裝置接地線須採用低電阻率的專用接地線。
5、氣體洩漏報警系統
裝置安裝區域上方需安裝氫氣洩漏報警系統，地面需安裝可燃性氣體洩漏報警系統。
六、操作方法
1、開機前檢查
1.1 裝置電源是否接通
1.2 真空系統冷卻水是否到位
1.3裝置使用的工作氣體壓力是否正常
1.4 檢驗氣體洩漏報警系統是否正常
2、裝置鍍膜工序操作規程
2.1將超聲波清洗潔淨的被鍍工件裝入鍍膜機反應室；
2.2供給電源，開真空幫浦對反應室抽真空；
2.3給燈絲電壓進行預熱；
2.4當反應室真空度達到預定真空鍍時通入惰性工作氣體，進行鍍膜前表面電清洗；
2.5向反應室通入工作氣體，使反應室真空達到預定氣壓時加電源電進行鍍膜；
2.6達預定時間，自動關閉高壓電源，關閉真空幫浦電源，開啟真空室放氣閥放氣；
2.7取出被鍍工件。
3、 操作注意事項
3.1真空反應室要定期清潔處理，並用丙酮或酒精對反應室擦拭，保持反應室的乾燥；
3.2在不工作時，應將整機抽成真空狀態，並保持一定的真空度；
3.3本裝置的電阻真空計在反應室工作狀態時應處於開路狀態；
3.4工作完畢後依次關閉水、氣、電的閥門，旋鈕。
七、安全與維護
1、日常保養
1.1外觀乾淨整潔，電氣控制開關完好無損，堅固件無鬆動，氣體閥密封良好；
1.2真空幫浦油潤滑充分，油位指示正常；
1.3壓力表動作靈敏，指示正常，操作按鈕完好無損。
2、定期保養
2.1定期檢查真空幫浦是否漏油，定期加油；
2.2定期測試電、氣路，更換失效電器元件；
2.3定期檢查壓力表；
2.4定期清洗真空反應室，保持反應室清潔。
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