1 目的：闡述潔淨室（區）中懸浮粒子的測試方法，用以規範員工的檢測操作。
2 範圍：適用於公司內部生產潔淨區塵埃粒子檢測工作
3 責任：生產車間、生產部、質量管理部、qc檢驗室主任、檢驗員。
4 測依據：
5 內容：
5.1 儀器：光散射粒子計數器和濾膜顯微鏡。
光散射粒子計數器用於粒徑≥0.5μm；濾膜顯微鏡用於粒徑≥5μm的懸浮粒子的計數。使用光散射粒子計數器時應嚴格按照儀器說明書操作。
5.2 測定標準
5.3 測試方法
5.3.1 儀器開機,預熱至穩定後,方可按說明書的規定對儀器進行校正。
5.3.2 取樣管口置取樣點取樣時，在確認計數穩定後方可開始連續讀數。
5.3.4 取樣管必須乾淨、嚴禁滲漏。
5.3.5 取樣管的長度應根據儀器的允許長度，除另有規定外，長度不大於1.5m。
5.3.6 計數器取樣口和儀器工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差。
5.3.7 必須按照儀器的檢定週期，定期對儀器作檢定，以保證測試資料的可靠性。
5.4 測試規則
5.4.1 測試條件
5.4.1.1 溫度和濕度：潔淨室的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應，溫度控制在18～26℃，相對濕度控制在45～65%之間為宜。
5.4.1.2 壓差：空氣潔淨度不同的潔淨室（區）之間的壓差應≥5pa，空氣潔淨度級別要求等高的潔淨室（區）對相鄰的空氣潔淨度級別低的潔淨室（區）一般要求呈相對正壓。
5.4.2 測試狀態：有靜態測試和動態測試。
5.4.2.1 靜態測試時室內空調系統已處於正常執行狀態，測試人員不得多於2人。塵埃粒子數必須符合規定。
5.4.2.
2 動態測試時已處於正常生產狀態，所產生粒子不影響最終產品的作業，可允許超出標準，但當操作完成10分鐘後，粒子水平必須恢復到以潔淨區塵粒最大允許數範圍之內，應定期監控動態條件下的潔淨狀況。
5.4.2.3 測試報告中應標明測試時所採用的狀態。
5.4.3 測試時間：對單向流，測試應在淨化空調系統正常執行時間不少於30分鐘後開始。
5.4.4 懸浮粒子計數
5.4.4.1 取樣點數目及其布置
5.4.4.1.1 取樣點數目及其布置應根據產品的生產及工藝關鍵操作區設定。
5.4.4.1.2 取樣點布置要求均勻，避免取樣點在某區域性區域過於稀疏。
5.4.4.1.3 取樣點一般在工作台面上0.2m高度的平面上均勻布置。
5.4.4.
2 取樣點的限定：對於任何小潔淨室或區域性空氣淨化區域，取樣點的數目不得少於2個，總取樣次數不得少於5次。每個取樣點取樣次數可以多於1次，但不同取樣點的取樣次數可以不同。
最少取樣點數目
5.4.4.3 取樣量：
最小取樣量
5.4.4.4 取樣注意事項
5.4.4.4.1 在確認潔淨室(區)送風和壓差達到要求後,方可進行取樣。
5.4.4.4.2 對於單向流，計數器取樣管口朝向應正對氣流方向，對於非單向流，取樣口宜向上。
5.4.4.4.3 布置取樣點時，應避開回風口。
5.4.4.4.4 取樣時，測試人員應在取樣口的下風側。
5.4.4.4.5 懸浮粒子濃度的取樣資料應按下述步驟作統計計算。
5.5 結果計算
c1+c2+------+cn
5.5.1 取樣點的平均粒子濃度a
n式中：
a--某一取樣點的平均粒子濃度，粒/m3；
ci--某一取樣點的粒子濃度（i=1，2，---，n），粒/m3；
n--某一取樣點上的取樣次數，次。
a1+a2+---+al
5.5.2 平均值的均值ml式中
m——平均值的均值，即潔淨室（區）的平均粒子濃度，粒/m3；
ai——某一取樣點的平均粒子濃度（i=1,2，---，l）,粒/m3；
l——某一潔淨室（區）內的總取樣點數，個。
5.5.3 標準誤差 se=
式中se——平均值的標準誤差，粒/m3。
5.5.4 置信上限
ucl=m+t×se
式中：ucl ——平均值均值的95%置信上限，粒/m3；
t ——95%置信上限的t分布係數。
95%置信上限的t分布係數
注：當取樣點多於9點時，不需要計算ucl。
5.6 結果評定：判斷懸浮粒子潔淨度級別應依據下述二個條件。
5.6.1 每個取樣點的平均粒子濃度必須低於或等於規定的級別界限，即ai≤級別界限。
5.6.2 全部取樣點的粒子濃度平均值的均值的95%置信上限必須低於或等於規定的級別界限，即ucl≤級別界限。
5.7 當連續三次樣品測試結果超過警戒指標,或單位樣品的結果特別高時，應著手採取措施。
5.8 用標有頁碼記錄本記錄潔淨室懸浮粒子測試實驗，內容包括：部門、試狀態、測試時間、標準、測試結果、結果計算、結果評定等所有記錄必須有實驗員簽名，並交質量管理科負責人簽字。
5.9 記錄本應儲存至最後一次記錄後的三年。
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