3、氧氮分離裝置
裝有專用碳分子篩的吸附塔共有a、b兩隻。當潔淨的壓縮空氣進入a塔入口端經碳分子篩向出口端流動時，o2、co2和h2o被其吸附，產品氮氣由吸附塔出口端流出。經一段時間後，a塔內的碳分子篩吸附飽和。
這時，a塔自動停止吸附，壓縮空氣流入b塔進行吸氧產氮，對並a塔分子篩進行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的o2、co2和h2o來實現的。兩塔交替進行吸附和再生，完成氧氮分離，連續輸出氮氣。
上述過程均由可程式設計序控制器（plc）來控制。當出氣端氮氣純度大小設定值時，plc程式作用，自動放空閥門開啟，將不合格氮氣自動放空，確保不合格氮氣不流向用氣點。氣體放空時利用消音器消聲使雜訊小於75dba。
4、氮氣緩衝罐
氮氣緩衝罐用於均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續供給氮氣穩定。同時，在吸附塔進行工作切換後，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔公升壓，另外也起到保護床層的作用，在裝置工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
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