PLC在8 5代TFT LCD專案FMCS中的應用

plc在8.5代tft-lcd專案fmcs中的應用

作者：楊峰

**：《中國新通訊》2023年第19期

【摘要】本文以國內最大的8.5代tft-lcd工廠fmcs為實列，介紹傳統plc產品在建造超大型電子工廠廠務系統中的整合應用。

【關鍵詞】 plc fmcs tft-lcd

一、fmcs概述

傳統的石油、化工、冶金等行業，自動化控制系統一般都是各自車間配備專門一套dcs、plc控制系統；而在tft-lcd行業，由於控制區域廣、調節系統多、管理方式集中等原因，需要利用成熟的plc系統在同乙個系統平台下滿足大型電子工業廠房集中監控的要求，於是fmcs便由傳統的plc擴充套件而來。

二、 fmcs功能介紹

fmcs（facility management control system）-廠務監控系統，主要功能包括兩個方面：

1、plc控制功能

a、潔淨室控制系統維持無塵室的潔淨度、溫度、濕度、壓力、新風量等引數，為生產提供安全可靠的環境。監控物件有空調新風機組、排風機組、洗滌塔、幹盤管、 ffu、fab內的壓力、溫度、濕度等。

b、冷凍水控制系統為空調、盤管、熱交換器等一系列設施提供冰水。它主要監控物件為冷凍機、水幫浦、水溫、流量、管道壓力、閥門、及其它裝置。

c、冷卻水控制系統包括冷卻塔通過冷卻水的迴圈將冷凍機與壓縮機產生的熱量排放到外部環境中。為確保生產要求，要對供水壓力與流量、冷卻水水溫進行控制。

d、熱水控制系統對熱水系統監控主要涉及空壓機熱**利用溫度控制和燃氣鍋爐的通訊、水溫、水幫浦、熱水的壓力監控。

2、其它子系統的接入

基於plc光纖環網接入其他廠務系統，如：電力監控scada系統、工藝真空系統、清掃真空系統、壓縮空氣系統、純水製備系統、廢水處理系統、大宗氣體系統、特氣系統、化學品**系統、酸鹼毒廢氣處理系統、有機廢氣處理系統、一般排風、工藝冷卻水、pou、特氣偵測系統、以及重要單機裝置引數的採集監控。