超臨界水氧化技術與其他處理技術相比，具有其明顯的優越性：
（1）效率高，處理徹底，有機物在適當的溫度、壓力和一定的保留時間下，能完全被氧化成二氧化碳、水、氮氣以及鹽類等無毒的小分子化合物，有毒物質的清除率達99.99%以上，符合全封閉處理要求：
（2）由於scwo是在高溫高壓下進行的均相反應，反應速率快，停留時間短（可小於1min），所以反應器結構簡潔，體積小；
（3）適用範圍廣，可以適用於各種有毒物質、廢水廢物的處理；
（4）不形成二次汙染，產物清潔不需要進一步處理，且無機鹽可從水中分離出來，處理後的廢水可完全**利用；
（5）當有機物含量超過2%時，就可以依靠反應過程中自身氧化放熱來維持反應所需的溫度，不需要額外供給熱量，如果濃度更高，則放出更多的氧化熱，這部分熱能可以**。
表 5是超臨界水氧化與濕式空氣氧化法（wao）以及傳統的焚燒法的對比。
然而，儘管超臨界水氧化法具備了很多優點，但其高溫高壓的操作條件無疑對裝置材質提出了嚴格的要求。另一方面，雖然已經在超臨界水的性質和物質在其中的溶解度及超臨界水化學反應的動力學和機理方面進行了一些研究，但是這些與開發、設計和控制超臨界水氧化過程必需的知識和資料相比，還遠不能滿足要求。
在實際進行工程設計時，除了考慮體系的反應動力學特性以外，還必須注意一些工程方面的因素，例如腐蝕、鹽的沉澱、催化劑的使用、熱量傳遞等。
（1）腐蝕在超臨界水氧化環境中比通常條件下更易導致金屬的腐蝕。高濃度的溶解氧、高溫高壓的條件、極端的ph值以及某些種類的無機離子均可使腐蝕加快。腐蝕會產生兩個方面的問題，一是反應完畢後的流出液中含有某些金屬離子（如鉻等），會影響處理的質量；二是過度的腐蝕會影響壓力系統正常工作。
在300～500℃、ph值2～9、氯化物濃度為400mg/l的條件下，對13種合金的腐蝕進行了實驗研究。結果表明，在給定的溫度範圍內ph對腐蝕的影響不大。在300℃的亞臨界狀態下，由於水的介電常數和無機鹽的溶解度均較大，主要以電化學腐蝕為主。
當溫度公升至400℃以上時，水的介電常數和鹽的溶解度迅速下降，這時以化學腐蝕為主。
（2）鹽的沉澱在超臨界水氧化中，往往在進料中加入鹼中和過程中產生的酸和生成的鹽，因超臨界條件下無機物的溶解度很小，過程中會有鹽的沉澱。某些鹽的粘度較大，有可能會引起反應器或管路的堵塞。通過反應器形式的優化和適當的操作方式可予以部分地改善。
對於某些高含鹽體系可能需要預處理。
（3）催化劑在一些物質的超臨界水氧化研究中使用了催化劑，主要是為了提高複雜有機物的轉化率、縮短反應時間或降低所需的反應溫度。現在應用的絕大部分催化劑是以往濕式空氣氧化和亞臨界水氧化過程研究中使用的。均相催化和非均相催化相比，非均相催化的綜合效果較好。
（4）熱量傳遞因為水的性質在臨界點附近變化很大，在超臨界水氧化過程中也必須考慮臨界點附近的熱量傳遞問題。在臨界點溫度以下但接近臨界點時，水的運動粘度很低，溫度公升高時自然對流增加，熱導率增加很快。但當溫度超過臨界點不多時，傳熱系數急劇下降，這可能是由於流體密度下降以及主體流體和管壁處流體的物理性質的差異所導致。
雖然，超臨界水氧化技術仍存在著一些有待解決的問題，但由於它本身所具有的突出優勢，在處理有害廢物方面越來越受到重視，是一項有著廣闊發展和應用前景的新型處理技術。
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