SEM操作規程

2022-10-06 05:03:02 字數 590 閱讀 7910

掃瞄電子顯微鏡操作規程

一、開始執行系統:

1. 開啟總電源。

2. 開啟空氣壓縮機。

3. 開啟機械幫浦和變壓器。

4. 通入冷卻水。

5. 開啟真空電源,系統開始抽低真空。

6. 30分鐘後,使系統抽高真空。

7. 待前級真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以後,即可開始工作。

二、關機

1. 關閉閥1,開啟「stand by」開關。

2. 將真空控制板上的自動、手動開關置於手動,此時只有閥2繼續抽擴散幫浦的前級真空。

3. 30分鐘後,關真空電源。

4. 關閉機械幫浦、空氣壓縮機、總電源。

5. 關冷卻水。

三、注意事項:

1. 在測量高真空時,不要將表頭開關置於hi vac位置上。

2. 加高壓時,不要一下子加到20-30kv,特別是房間較潮濕的地方,高壓容易打火,造成儀器元件損壞。所以可以先加10kv,再以1kv的步距逐步增加高壓。

3. 要慢慢增加束流,並且是燈絲在飽和點工作。

4. 燈絲一定要安正,否則看不到影象。

5. 在儀器不用時,要定期開機抽真空。-1.

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