單晶常見應急事故處理方法及注意事項

2022-08-20 20:21:05 字數 3138 閱讀 2602

為增強員工對突發生產事故應急處理的能力,現將部分常見應急事故處理方法列舉如下,望各位員工認真學習!

常見事故:

(一) 停水

1) 發生停水或水壓報警時,先確認水壓表是否偏低,水管和爐筒溫度是否明顯公升高。

1. 快速提公升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。

2. 關閉加熱功率。

3. 復位控制櫃面板上單晶生長控制器,使其處於手動狀態。

4. 降低堝位到熔料堝位。

5. 關閉堝轉。

2) 停水後水壓恢復。

1. 冷卻水恢復**時,監控水壓,有異常立即報告管理人員。

2. 水壓恢復時,爐內無嚴重氧化現象,熔體未結晶或已結晶但液面結晶小於10分鐘且石英坩堝未破裂,按加熱功率開,調節功率到熔料功率。

3. 啟動堝轉,設定為2轉/分。

4. 熔化結晶面,在此期間應密切爐內有無嚴重氧化現象,注意矽料液面熔化情況,一旦發生嚴重氧化現象、矽液面下降,立即停爐並上報管理人員。

5. 待結晶全熔後,手動調節功率為引晶功率,溫度穩定後,開始引晶。

3) 停水後水壓無法恢復,或恢復時熔體已結晶大於10分鐘。

1. 在熔體結晶15分鐘時,快速提公升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。

2. 停爐,充分冷卻後拆爐

(二) 停電

1) 若爐子工作時,加熱部分停電。

1. 復位控制櫃面板上單晶生長控制器,使其處於手動狀態。

2. 降低堝位到熔料堝位。

3. 關閉堝轉。

4. 加熱部分恢復時,若時間較短(液面未結晶或液面已結晶但小於10分鐘且石英坩堝未破),按加熱功率開,將功率公升至熔料功率。

5. 啟動堝轉,設定為2轉/分。

6. 熔化結晶面,在此期間應密切注意矽料液面熔化情況,一旦發生矽液面下降,立即停爐並上報管理人員。

7. 待結晶全熔後,手動調節功率為引晶功率,溫度穩定後,開始引晶。

8. 加熱部分恢復時,若停電時間較長(液面結晶已經大於10分鐘或石英坩堝破裂),快速提公升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。

9. 在熔體結晶15分鐘時,快速提公升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。

10. 停爐,充分冷卻後拆爐。

2) 若爐子工作時,加熱電源、控制電源同時斷電。

1. 立即關閉抽空閥門。

2. 手動搖手柄降低堝位使晶棒與矽液脫離。

3. 同時將氬氣流量調為最大,充氬氣至-0.05mpa左右,關閉氬氣。

4. 電源恢復時,立即開真空幫浦,待半分鐘後開抽空閥門,將氬氣流量恢復正常。

5. 若時間較短(液面未結晶或液面已結晶但小於10分鐘且石英坩堝未破),按加熱功率開,將功率公升至熔料功率。

6. 啟動堝轉,設定為2轉/分。若晶體或籽晶與液面結晶在一起,則要等晶體或籽晶與液面結晶面熔化並脫離後方可啟動。

7. 熔化結晶面,在此期間應密切注意矽料液面熔化情況,一旦發生矽液面下降,立即停爐並上報管理人員。

8. 待結晶全熔後,手動調節功率為引晶功率,溫度穩定後,開始引晶。

9. 若停電時間較長(液面結晶已經大於10分鐘或石英坩堝破裂),快速提公升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。

10. 在熔體結晶15分鐘時,快速提公升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。

11. 停爐,充分冷卻後拆爐。

(三) 石英坩堝裂開或漏矽

1. 觀察爐內矽液面有明顯下降,爐壓有明顯回公升現象,即可能漏矽。

2. 立即關閉加熱功率。

3. 關閉抽空球閥,充氬氣至-0.05pa左右,關閉氬氣。

4. 復位控制櫃面板上單晶生長控制器,使其處於手動狀態。

5. 關閉堝轉。

6. 快速提公升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。

7. 在熔體結晶15分鐘時,如有可能,快速提公升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。

8. 停爐,充分冷卻後拆爐。

(四) 石墨坩堝裂開

1. 堝轉開啟後,液面晃動異常嚴重,觀察電流錶指標有擺動現象,即可能石墨堝破裂。

2. 立即關閉加熱功率。

3. 復位控制櫃面板上單晶生長控制器,使其處於手動狀態。

4. 關閉堝轉。

5. 快速提公升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。

6. 在熔體結晶15分鐘時,如有可能,快速提公升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。

7. 停爐,充分冷卻後拆爐。

注意事項:

1、在裝完料抽空檢漏時,真空幫浦開啟,應先開真空幫浦電源,再開球閥;關閉時,應先關球閥,再關真空幫浦電源。切記不要將順序記反,避免回氣汙染原料。

2、不進行快速操作時(晶快公升,快降,堝快公升,快降),將手操器按件推到「禁止」狀態。需要打快速時,打到「允許」狀態。進行快速操作時應當

時刻注意爐內情況,避免出現濺矽、漏矽、矽跳、籽晶卡頭斷裂、重錘熔化等事故。

3、加熱時必須開啟水溫報警,加熱電流過低報警,加熱器異常報警等。避免因人為疏忽發生異常情況,電腦無法報警造成事故的發生。部分爐台出現水溫報警,可能是因為線路鬆脫等原因造成,及時檢查原因,若出現假報警時,可將水溫報警開關退出,切記不要將控制櫃上方的紅色總報警器關閉。

4、公升降液壓時將計算機畫面按到(f5繼電控制)上。不使用時(如出爐後)及時關掉液壓幫浦,防止時間過長,幫浦過熱。

5、加熱前將畫面按到(f4溫度系統),加熱水壓觸點1燈亮,水壓觸點2燈不亮,加熱故障燈不亮方可加熱。

6、加熱時若出現打火現象(電流突然變大,電壓減小)計算機會加熱器異常報警,此時請將歐陸加熱降到最小,後關閉加熱。然後重新加熱並注意觀察。若出現兩次以上打火,請停止加熱。

拆爐檢查。

7、大清爐台時應當檢查石墨件是否有破損或裂紋現象,若有應當及時更換。

8、下降或上公升堝位時應當注意該爐台的報警限位,不要超出報警限位,以防出現石墨件的斷裂或波紋管的損傷。

9、裝好石墨坩堝後,開起堝轉,看有無轉動偏心、碰其它石墨器件等情況,若有應及時調整以防對拉晶造成影響。

10、在取晶棒時,細籽晶處應當用鉗子剪斷,嚴禁敲打籽晶,避免因籽晶受力產生微裂痕導致斷裂的事故發生。

11、取棒時晶棒公升到副室後,將翻板閥關閉、副室下邊的防護鋼板移到晶棒正下方,輕輕移動副室以防晶棒在副室內碰撞籽晶斷裂。待晶棒穩定後再取出,晶棒下方嚴禁站人,避免人員**等。

12、在化料過程中應注意觀察爐內情況,若料有所下降,應及早開啟堝轉,並根據爐內的料位及時調整堝位,以防止石英坩堝長時間高溫導致變形情況發生。

13、在收尾過程當中應當密切關注爐內情況,防止因料少溫度低造成結晶粘住晶棒,鋼絲繩斷裂的事故發生。

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