目錄一. 目的003
二. 範圍003
三. 職責003
四. 名詞定義003
五. 內容003
六. 相關檔案011
七. 附錄011
1. 目的：規範操作，為生產車間操作規範化提供依據。
2. 範圍：適用於車間擴散工序。
3. 職責：
3.1負責三氯氧磷安裝使用的生產作業;
3.2負責三氯氧磷出現危險事故的標示、隔離；
3.3負責發現作業過程中裝置、工藝異常狀況時的反映。
4. 名詞定義：無
5. 工作程式：
5.1三氯氧磷安裝使用示例與操作指導說明
更換三氯氧磷的注意事項：
擴散間——源瓶更換
1、 通知當班工藝員，準備更換磷源，工藝員應積極配合，監督並陪同更換磷源全過程；
2、 佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩）及雙層橡膠手套；
3、 檢查新源瓶有無損壞、裂紋及滲漏，檢查進氣口和出氣口閥門關閉情況；
4、 開啟氣源櫃，先關閉源瓶進氣閥，再關閉源瓶出氣閥；
5、 將管路與源瓶斷開（逆時針方向轉動管路與閥芯之間的螺母，輕輕拔出管路），將源瓶取出恆溫箱後放入源瓶儲存箱；
6、 把經檢查後沒有問題的源瓶放入恆溫箱，接通氣路（將管路插入閥門中，順時針方向擰緊螺母）；
特別注意：分清楚出氣閥和進氣閥，進氣閥在瓶內連線長管深入液面以下，出氣閥則沒有。
7、 再次確認無誤後請工藝員檢查並簽字確定；
8、 依次開啟出氣閥、進氣閥；
9、 關閉氣源櫃。
7. 記錄：無
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