控制潔淨室空氣引數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產除錯工作完成後的潔淨室檢測階段,還是潔淨室使用階段都要完成空氣引數的控制工作。在各種標準和建議(16)中都詳細地制訂了和提出了潔淨室空氣引數的測試和控制方法。
至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內,按其用途的不同應控制下列引數:
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性(對單向氣流而言)
4、風量和換氣次數
5、最終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表面的潔淨度
測試狀態的確定:根據設計要求,一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測,一般不做動態檢測,如需動態檢測,需要制定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度(每1m3空氣中的粒子數)。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定,根據該標準的規定,潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值d的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時,應對粒徑≥閥值的粒子進行統計,下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數n和最常見值d的粒子最大允許濃度
潔淨度級別表示例項
iso 4級;靜態;給定粒徑0.5微公尺(352粒子/m3)。
iso 5級;靜態;給定粒徑0.5微公尺(3520粒子/m3);5.0微公尺(29粒子/m3)。
因此,在測試具體的潔淨室的相應潔淨度級別時,不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而只要檢測為該種潔淨室給定的粒子粒徑。
測定潔淨度級別的方法
在檢測潔淨室的潔淨度級別時,應測定潔淨室內1點或數點的懸浮粒子濃度(即取樣點的粒子濃度)。
因此必須滿足下列要求
1)確認潔淨室的狀態與給定的相符;
2)確定給定粒徑,潔淨室取樣點的數量和位置;
3)確定每一取樣點的取樣數量;
4)確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上,每1次取樣的取樣量和取樣時間;
5)取樣之後應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計;
6)將取樣資料填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內(適於採用無計算機軟體的粒子計數器的場合下);
7)整理取得的資料;
8)對結果進行分析;
9)整理方案確定級別應符合上表要求。
氣流的檢測
在潔淨室中的氣流:
氣流風速(通常是控制單向氣流的風速)
氣流均勻性(單向氣流風速穩定性)並目視檢查氣流。
空氣(單向氣流)的風速和風量
空氣單向氣流的風速是在垂直於氣流方向的平面上並距離風源150-500mm處測得的。
測試點的數量應大於被測表面面積的平方根,但不得小於3,應在每乙個設定的網格中進行測量,測量點應均勻地分布在平面上。
應在距離過濾器表面150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時,應在距離過濾器表面300mm以上處測試風速。
每1點的測量時間不得少於10秒。並且要確定平均值,最大和最小值。
氣流的均勻性
根據在垂直於空氣運動方向的平面上各點的風速測試資料,評價單向氣流的均勻性,建議該平面應距離過濾器表面(風口)300公釐以上。
平面上各點處的風速相差不得超過20%-30%。
檢驗過濾器的整體性
最終過濾器(hepa,ulpa過濾器)是潔淨室的重要部分。這些過濾器安設在潔淨室的吊頂和牆上,裝在裝置和風管內。應進行洩漏檢查,以控制過濾器的整體性,過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏,會超過гoctp5125-99。
製造商應在廠內對過濾器作最大穿透粒徑試驗,附過濾器檢測報告,現場不做檢漏。
溫度的檢測
在潔淨室內採用兩種方法控制溫度:
一般控制
特殊控制
(一般控制)在通風空調系統投產-除錯時,以及在潔淨室檢測的各個階段和使用階段均要進行溫度的一般控制。
規定工作席工作區高度處的溫度,以及必要時,其他工作點的溫度都要加以控制。
在1小時或更多一些的時間內應週期性的連續測試6分鐘。
相對濕度的控制
待通風空調系統工作穩定後,相對濕度的控制可與溫度的測量同時進行。
至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量,為了使感測器持續穩定,測量的持續時間不得少於6分鐘。
潔淨實驗室技術指標
格式1(式樣)
記錄書 工段, 潔淨室取樣
取樣時期
房間狀態
(空態、靜態、動態)
給定潔淨度級別
給定閥徑粒徑,微公尺
粒子的最大允許濃度,粒子/m3
取樣量,公升
取樣時間,分鐘
取樣點數量r
每1取樣點上的取樣次數,p
粒子計數器
取樣點位置示意圖
2 35
1 4取樣者簽字姓,名或父名的第1個字母)
潔淨室的標準
淨化引數換氣次數 100000級 15次 10000級 20次 1000 30次。壓差 主車間對相鄰房間 5pa平均風速 10級 100級0.3 0.5m s 溫度冬季 16 夏季 26 波動 2 溫度45 65 gmp粉劑車間濕度在50 左右為宜 電子車間濕度略高以免產生靜電。雜訊 65db a ...
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swp 1型袖珍數字式溫度計 該數字溫度計是以 結半導體溫儀感測器為溫度探頭,適用於低溫測量的數字溫度計,具有解析度高,測量誤差小的特點,適用於冷庫 暖通空調 流體 氣體的溫度測量。主要技術指標 量程 50 150 解析度 精度 swk 2型袖珍數字式表面溫度計 數字式表面溫度計按國際 溫標熱電偶分...
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