多晶矽表面形態鑑定

2022-09-26 08:21:02 字數 658 閱讀 6290

本規程規定了原生多晶矽表面形態的技術要求、檢驗方法、檢驗規則等。

本規程適用於以氯矽烷為原料採用(改良)西門子法生產的棒狀多晶矽。

gb/t 12963-1996《矽多晶》

q/lyzg001-2008《太陽能級多晶矽》

3術語粗糙度:表面微小峰谷高低起伏的程度。用顆粒直徑和凹陷深度表示。

裂紋:由於熱應力等作用使表面至深層失去結合力而形成的缺陷。

孔洞:生產性缺陷或力變作用而形成v型結構,可用肉眼鑑別。

表1 4.2所佔比例

4.1橫樑不作為考核物件,另外處理。

4.2第四檔形態在整根棒中所佔長度不超過20%(包括內側),重量不超過20%。

6.1產品應由生產部門出爐後進行檢驗,相應指標填寫在生產工藝卡上。

6.2每爐產品的每一根棒都需要進行外表檢測。

6.3檢驗專案包括粗糙度、裂紋、空洞顏色等。

7.1一、二、三檔產品作為正常產品可以統一處理,進行包裝。

7.2第四檔產品可以和

一、二、三檔產品混合包裝,但所佔比例不能超過15%。

7.3在產品分級別的情況下,第四檔產品結合內在品質降一級使用。

7.4出現裂紋,在破碎時應將裂紋敲開。

7.5第五檔產品作為不合格產品,另行處理。

7.6表面顏色不符合要求時,需特殊處理。

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