特氣系統安全操作規範

2022-06-12 16:45:04 字數 1621 閱讀 8668

1. 目的 purpose

1.1 本操作作業規範目的在建立一套完整的特氣系統操作流程,以避免人員操作錯誤及維護系統穩定運轉並做為新進人員之教育訓練教材。

2. 管制範圍 scope

2.1 本操作規範適用於特氣系統各操作單元之操作及故障排除指引。

3. 管理職責 responsibility

3.1 廠務單位最高主管

3.1.1 協調並提供各單位因產品生產所需之廠務服務內容。

3.1.2 綜理廠務系統運轉所需資源管理, 含人員/物料/預算等。

3.1.3 引進創新之廠務系統或管理知識。

3.2 廠務單位主管

3.2.1 執行廠務系統維護保養制度及系統教育訓練。

3.2.2 維持穩定的廠務**系統所需之人員出勤管理。

3.2.3 廠務系統及廠內各類緊急事件之搶救應變事宜。

3.2.4 廠務系統異常事故追蹤查核處理結果

3.3 廠務系統工程師:

3.3.1 負責特氣**系統之正常運轉及改良維護。

3.3.2 負責廠務與機台裝置間 hook up (二次配管)工程之施工與協調事宜。

3.3.3 廠務系統及廠內各類緊急事件之搶救應變事宜。

3.3.4 擔任所負責系統之教育訓練講師。

3.4 廠務輪班工程師:

3.4.1 負責各項維護廠務系統所需之日常巡檢及窗體記錄。

3.4.2 執行各項廠務設施之日常或定期性保養維修作業。

3.4.3 更換廠務系統所提供或所需之原物料及產生之廢棄物。

3.4.4 廠務系統及廠內各類緊急事件之搶救應變事宜。

4. 定義 definition

4.1 sg : special gas (特殊氣體)。

5. 作業內容 procedure

5.1 日常記錄與報告要求

5.1.1定點現場抄表,發現資料異常即刻報告給系統工程師。

5.1.2統計氣體,每日/周/月用量。

5.1.3統計氣瓶、庫存量,原則上現場要有足夠15天執行庫存量。

5.1.4整理特氣系統儀器儀表(gas detector、pt等)的校正記錄。

5.1.5提供日常巡檢報告、維護報告及事故報告。

5.2日常運轉事項

5.2.1氣體鋼瓶的更換(含矽烷、氫氣站,特氣房內)。

5.2.2 n2 yard(大宗氣體氣站:n2) 灌充作業前、後系統及壓力,液位確認檢查

5.2.3特氣系統儀器儀表(gas detector、pt等)的定期校正。

5.2.4緊急應變:包括trouble-shooting,報警故障處理,緊急事故反映及處理。

6. 表單 form

特氣系統點檢表

local scrubber 檢查保養計畫表

sensor 檢查保養表

氣瓶櫃/架檢查保養計畫

vmb/vmp維修保養計畫表

7. 參考檔案 reference document

7.1 無

8. 作業流程 flow chart

8.1 ar 供氣流程

8.2 pn2 供氣流程

8.3 h2供氣流程

8.4 全自動氣櫃和bsgs 供氣流程

9. 特氣系統異常洩露,緊急處理程式

10.附件 attachment無1.

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