目錄一、無塵室常用名詞01~04
二、無塵室等級定義05~9
三、無塵室測試範圍10~14
四、現場環境要求15
五、無塵室規劃16~21
六、無塵室管理21~23
一、 無塵室常用名詞
1.1. 無塵室定義：無塵室是乙個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
1.2. 微粒控制：
無塵室微粒控制的第一步，是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析，然後針對分析結果，訂定恰當的微粒控制方式與無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒汙染。在做微粒影響分析時，必須特別注意資料的量化，也就是粒徑與其數量對製程的影響，才是有用的資料。
1.3. 外來汙染源：從無塵室外進入系統的汙染源，外來汙染源主要是由空調通風系統所匯入，另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來汙染源的成因。
1.4. 內部汙染源：無塵室內部產生汙染的**，一般是製程機器與操作員工，最嚴重的內部汙染源一般是操作員工。
1.5. 隔離：
隔離是汙染控制的一種觀念，也就是讓汙染源隔絕在無塵區域之外。這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境，例如 class 100，class 10，class 1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨室將機台整個包住。
1.6. 稀釋：
稀釋是汙染控制的另一種觀念，多應用在潔淨度不高的無塵室。例如在 class 10000的無塵室，因為換氣量不大，製程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較長的時間才會排出。因此新的乾淨空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔淨度控制在某一等級之下就可以了，不要求把人員與製程隔開。
1.7. 氣流模式：
指的是流場型態，氣流分布，氣流的流向等性質。由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔淨度。
1.8. 單一流向型氣流：氣流以同乙個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。
1.9. 非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。
1.10. as-built cleanroom（剛完工的無塵室）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已完成的潔淨室，但並沒有裝置及操作裝置的人員。
1.11. at-rest cleanroom（準備中的無塵室）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已動作的無塵室，裝置已載入並可以操作或已在運轉，但沒有操作裝置的人員。
1.12. operational cleanroom（操作中的無塵室設施）：
乙個已在正常運轉的無塵室，所有相關支援設施皆已動作，裝置及人員皆已載入，運轉狀況可以呈現和達到其正常的功能。
二、 無塵室等級定義
使用者在開無塵室的等級給供貨商時，有以下幾個小技巧。首先是等級定義的模式如下：
class x (at y μm )
其中 x 是無塵室的等級，例如 100 或 10000 等等，y是粒徑如 0.2μm , 0.5μm 等，可複選。
意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：
class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
class 100(0.2μm , 0.5μm )
class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在 classes 100 (m3.5) and greater (class 100，1000，10000....) ，一般看乙個粒徑即可。
在 classes less than 100 (m3.5) (class 10，1.... ) ，一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：
class x (at y μm )， at-rest
供貨商就很清楚知道無塵室要在 at-rest狀態下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在 as-built 時無塵室都很乾淨，微粒控制能力測試不易，這時可以乾脆把驗收上限壓低，例如：
class 10000 (0.3 μm <= 10000)， as-built
class 10000 (0.5 μm <= 1000)， as-built
這樣做的目的是確保無塵室在 operational 狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。
以下兩個表是 fed-std-209e 的等級定義，和iso-14644的等級定義。
比較以上兩表我們可看出
1. 209e 的公制和英製兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍然很難一眼看出其相關性，兩制放同一表，徒然造成混淆。
2. 在兩表中 0.5 m 幾乎出現在每乙個等級定義中，表示粒徑 0.5 m 的粒子非常具有代表性
在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度， iso-14644 的範圍比 209e 都來的廣，因此具有未來性。
三、 無塵室測試範圍
凡是和無塵室環境控制有關的因素，都在無塵室認證的範圍之內。在無塵室完工之前，業主、施工單位、與測試單位應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議，以利測試進行。
3.1. 待測無塵室涵蓋範圍、等級、面積、濾網位置、與數量
3.2. 測試的目的
3.3. 測試程式
3.4. 使用儀器
3.5. 測試報告撰寫方式與內容
3.6. 工期
在測試前，將以上專案定義清楚，可以使測試順利進行。
iest-0062 有乙個表說明測試專案，以及適用狀態，具有相當參考價值表列如下。
iest-rp-cc006.2 table 1
測試的順序沒有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序：
a： 測試適用於 as-built 狀態
b：測試適用於 at-rest 狀態
c：測試適用於 operational 狀態
d： n/a： 代表該測試在該狀態下〝不適用〞
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