潔淨車間工程設計要求

2021-04-04 21:09:41 字數 1595 閱讀 6435

(1)潔淨室內氣流的橫向擴散只在甚低的流速下才有可能,單向流在合理的氣流組織下,流速0.05~0.1m/s就足夠帶走汙染物,在此流速下亞微公尺粒子的擴散效能遠低於對流效能;而大於0.

36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流,引起汙染物的再捲入。因此,潔淨室的理想自淨時間tr=體積/流率,到一定值後由於汙染物的再捲入,再增大氣流速度,實際的tr並不再有明顯的減少。

(2)末級過濾器的效率對潔淨度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前hepa/ulpa的效率從99.

67%、99.99%、99.999%、99.

9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外,以下方面亦值得引起注意,在非單向流情況下,按衡釋原理的潔淨室內含塵濃度穩定公式可以得出:

(a)室內發塵量較高時,末級過濾器效率的變化對潔淨度影響甚微,因此在這種情況下,過高的過濾效率是無必要的。

(b)室內發生塵量較低的情況下,採用低的氣流速度下,末級過濾器效率的變速器變化,對潔淨度的影響增大。

三、ffu系統的應用

3.1當前ffu的情況

ffu在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是:

(1)採取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內;

(2)電動機採用dc/ec(電子整流電機),以耗較原交流電機節約近50%,因為小風機所用小容量(功率<1/2hp)的交流電機,一般皆為電容分相式或隱極式,其效率僅40%左右,而dc/ec電機的效率可達75~80%;在調速控制上可每台單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗,但目前投資**期尚長而未廣泛採用,一般常用分組群控或全部群控。

(3)但ff瓣出口靜壓不能過大,一般採用出口風速成0.38m/s,此時其靜壓一般在250pa以內。

3.2ffu回風系統與其他方式相比的優點

3.2.1一般評價

優點:(1)靈活性大,便於改造;

(2)占用建築物空間較少;

(3)潔淨室內空氣壓力大於回風靜壓室,排除靜壓室對潔淨室汙染的可能性。

缺點:(1)要求回風道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風道)、乾表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時),總共應控制在165pa左右,以滿足執行時最大阻力在250pa以內。因此乾表冷器的傳熱面積要較大,回風道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控制乾表冷器阻力在50pa左右,回風道阻力在15pa以內,否則就需要再增設加壓風機系統,這就是降低了ffu系統的綜合優點。

(2)採用dc/ec電機後,單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低,但已有研究指出,比採用改進後的大型軸流風機的回風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。

(3)一般ffu系統由於單位風量的能耗較大,因此潔淨室的冷負荷亦相應增加。

3.2.2具體情況下的評價

(1)ffu用於老建築物改造成潔淨室時,其綜合經濟性一般往往可取。

(2)潔淨度要求嚴的潔淨室,末級過濾器滿布率100%時,對大的系統採用ffu,當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。

(3)對潔淨度要求不甚嚴的潔淨室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多,但對ic工廠而言ffu系統的靈活性是重要的,因此當前ic工廠對過濾器滿布率≤40%時,採用ffu系統已經普遍。

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