真空甩帶機作業指導書

上海大學

shanghai university

編寫版次

蔡平平第一版

審核批准日期

真空甩帶機作業指導書

白琴2023年11月15日

批准頁碼

1/1一、目的

為了確保真空甩帶機正確規範的操作，以保證該裝置正常運轉特制定本作業指導書。二、範圍

適用於上海大學材料研究所內所有使用本裝置的人員。三、作業步驟

1、開機：1）開總電源：將對面牆壁上左邊的電源閘刀向上撥至「on」；2）開冷卻水：將裝置後水管總

開關扭至與水管平行，並將兩個水閥逆時針旋轉45°；3）開機械幫浦：按下機械幫浦開機電源按鈕，等待2分鐘，待系統內空氣抽淨；4）開擴散幫浦：按下擴散幫浦開機電源按鈕，等待50分鐘，待擴散幫浦預熱完全；5）開銅輥電機：

按下電機「調速」電源按鈕，並按變頻器上的「run」一次，執行變頻器。（注意：預熱時務必確保機械幫浦和擴散幫浦閥門處於關閉狀態）

2、開腔門：將腔體右側的氬氣充氣閥順時針旋轉90°，給腔體充氬氣使氣壓表指標指向「0」並關上閥

門，然後利用專用扳手鬆開螺絲並將腔門開啟。

3、清理內腔：1）順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s；2）用沾有丙酮的紙巾擦拭銅輥

外徑表面；3）用金相砂紙輕輕擦拭外沿；4）重複第2）步；5）逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為「0」；6）用沾有丙酮的紙巾擦拭腔體其他地方。

4、安裝石英管：1）將石英管架向右移離感應線圈上方；2）將裝有樣品的石英管開口向上自上而下插

入感應線圈內；3）將管架移回感應線圈上方；4）將石英管盡可能地向上置於管架口內並慢慢鎖緊石英管；5）旋轉管架高度調節旋鈕至需要的高度；6）將「v」型板置於離銅輥約1厘公尺處。5、關腔門：關上腔門，並用扳手緊固螺絲。

6、抽真空：1）抽低真空：a)將機械幫浦拉桿逆時針旋轉一下輕輕外拉至不能拉動再順時針旋轉一下鎖

定；b)等待真空表指標為「-0.1」後按下zdf-2f復合真空計左表頭的紅色按鈕，等待將腔內真空抽至低於中間檔3pa，同時繼續緊固腔門上的螺絲。（注意：

若超過5分鐘未能將真空抽至低於3pa，請將拉桿按a）步驟所示手法推進2分鐘後再拉出）

2）抽高真空：a)當腔內真空低於3pa後，將機械幫浦拉桿推進並順時針旋轉鎖定；b)將擴散幫浦閥門

開關手柄逆時針旋轉180°至「開」；c)當左表頭指標低於0.2pa後，按下右表頭上的綠色按鈕，並按復位按鈕一次執行高真空表；d)根據情況依次更換量程，檢視腔內真空度。（注意：

在當前量程內，若指標高於「1」嚴禁更換到更小量程檢視真空度）

7、甩帶：腔內真空度達到要求後，1）按右表頭綠色按扭1次關閉高真空表；2）按左表頭紅色按鈕1

次關閉低真空計；3）順時針轉動擴散幫浦閥門開關手柄至「關」；4）開啟氬氣充氣閥給腔內充氣至氣壓表指示為「-0.05」並關上閥門；5）按下前面板上「充氣」至面板上氣壓表指示為「0.08」並關上按鈕；6）調節變頻器變頻旋鈕，使銅輥的轉速達到要求；7）開啟左側電感應加熱機電源開關；8）左手按住電感應加熱機遙控開關不放，觀察腔內石英管內樣品待樣品熔化後，右手迅速按下甩帶開關至甩帶完成；9）甩帶完成後，鬆開兩個開關並放回原處；10）關閉加熱機電源開關；11）逆時針調節變頻器旋鈕至銅輥停止。

（注意：務必先關高真空表後關低真空表）

8、條帶的收集：帶條帶冷卻後，1）開啟氬氣充氣閥至氣壓表指示為「0」並關上閥門；2）開啟前側腔

門及右側小門；3）鬆開石英管緊固螺絲；4）旋轉管架高度調節按鈕至石英管能取出；5）將管架移離感應線圈上方，取出石英管並使管架復位；6）用刷子輕輕掃出條帶並置於樣品袋內。9、若繼續甩帶：請重複3~8步驟。

10、關機：1）重複3、5步驟；2）按變頻器「stop」使變頻器關；3）按起「調速」電源按鈕；4）按

起擴散幫浦電源按鈕；5）拉出機械幫浦拉桿抽低真空至氣壓表指示為「-0.1」後在推入拉桿；6）等待一小時後關閉機械幫浦電源按鈕；7）關閉冷卻水閥；8）將總電源閘刀拉下至「off」。11、清理現場，做好「5s」工作，保持現場整潔。

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