1.目的
dm-300b型蒸鍍儀用於真空蒸鍍薄膜,主要用於測試膜層樣品光暗電導,啟用能等專案時製作鋁柵。
2.範圍
新能研發中心實驗室
3.責任
實驗室裝置負責人,負責裝置的使用及日常維護與點檢並填寫裝置使用記錄。
4.操作流程
4.1開機:
4.1.1 開房間內電源總開關;
4.1.2開連線蒸鍍儀的電源開關;
4.1.3 分別開通冷卻水「出水」和「進水」開關;
4.1.4. 開蒸鍍儀總開關。
4.2蒸鍍前準備工作:
4.2.1開充氣閥,對鐘罩內充氣,再公升鐘罩;
4.2.2根據鐘罩內是否清潔,先使用酒精清洗鐘罩內的零部件;
4.2.3安裝鉬舟,並將鋁絲條放入鉬舟中,並將所要沉積的襯底粘附於鋁板上;
4.2.4. 降鐘罩,在鐘罩下降的同時要觀察是否存在物品及雜物存在於鐘罩內。
4.3 蒸鍍儀的預熱:
4.3.1開機械幫浦,抽鐘罩,接通低真空測量,直至鐘罩內真空度降低到5pa以下;
4.3.2調節螺絲至10-20帕之間,此時可以對蒸鍍襯底材料進行轟擊處理,若不需要轟擊,則直接進入下一步驟。
轟擊時間根據需要自己控制,主要為了處理沉積襯底表面。轟擊完畢,把轟擊轉盤調零,再將表盤的「轟擊」檔轉為「關」檔;
4.3.3將低閥推到抽系統位置,待壓強低於5pa後,開擴散幫浦,預熱40分鐘。
4.4蒸鍍薄膜:
4.4.1在預熱完畢後,開高閥,約40-60秒後,接通高真空測量(開燈絲),低真空測量換到擴散幫浦前級測量,當真空度達到2-3×10-3,滿足蒸鍍真空要求;
4.4.2開「工件旋轉」檔,根據需要調節「工件旋轉」的速度(接觸調壓器值20-30);
4.4.3開通烘烤,調節好所需的溫度,根據實際需要設定烘烤時間。如果無需烘烤,則可進入下一步進行蒸鍍實驗;
4.4.4選好所放電極的位置,接通「蒸發」檔,將一顆「銅扭」插入對應的電極位置,開始增大電流(180a左右)進行溶解蒸鍍的材料,當發現已經熔解,將擋板擋住蒸發源。
待完全熔解後,開啟擋板,讓材料蒸鍍到襯底表面;
4.4.5蒸鍍完畢後,各檔歸零。關高真空測量,關高閥,低閥拉出到「抽鐘罩」位置,停機械幫浦,待工件冷卻後,對鐘罩充氣,公升鐘罩,取出零件,清洗鍍膜室。
4.4.6如需另外蒸鍍,則重新換襯底,電極(鉬舟)內加料。
4.5關機:
4.5.1如果蒸鍍完畢,結束實驗時,先關高真空測量,關高閥,停擴散幫浦,開機械幫浦。待機2小時退熱後,將低閥拉出至「抽鐘罩」位置,讓鐘罩內保持一定的真空度;
4.5.2關蒸鍍儀的總開關;
4.5.3先關「進水」閥,後關「出水」閥(冷卻水);
4.5.4關蒸鍍儀的電源;
4.5.5關總電源。
4.6鍍膜實驗結束後,注意清洗各部分原件,各種材料歸位,打掃衛生保持實驗室的乾淨。
5.注意事項
5.1電極更換:用了數次鉬電極後,有可能再鍍膜時,加更大的電流,因此需要將用過的老的電極取下來,裝上新的電極。
5.2鍍膜2-3次後,需要對鐘罩和內部零件進行清洗,避免微小顆粒進入真空系統,導致真空幫浦的損壞。
5.3突然停電:先切斷高真空測量,關高閥,低閥拉到抽鐘罩位置,關閉總電源,關閉其它工作狀態的按鈕。
5.4通過控制時間和電流的大小,以及工件旋轉速度的快慢,決定蒸鍍薄膜的厚度和均勻性。
6.裝置日常維護點檢
按照《實驗室裝置周點檢表》中的專案進行檢查。
7.相關記錄
《實驗室裝置周點檢表》
擬制審核批准:
附圖:蒸鍍儀操作流程圖
皮試儀操作規範
試驗原理 青黴素分子結構中的酸根帶負電荷,在水溶液中電離後,負離子含致敏原。當直流電通過時,其負離子可通過負極透入皮下,與體內蛋白質結合變成抗原,對青黴素過敏的人,在電極板下 有陽性反應現象。1 準備工作 將電極線插入相應插孔,綁帶依次穿過電極頭上的兩個條行孔。2.按下介面上的電源鍵,顯示屏顯示 3...
水準儀操作規範
1 置架先踩實腳架 移動 腳架使氣泡與 連線垂直即與腳架 平行,最後僅需要調節腳架 置架上的固定螺栓即可。平坦地區,架腳尖呈等邊三角形,斜坡地上,兩架腳置於下坡,令一腳架置於上坡以穩定腳架,腳尖呈等邊三角形 2 粗平任意選定一對角螺旋 用雙手以相對方向旋轉這對螺旋,使氣泡移動到過水準器零點且與 連線...
色彩色差儀操作規範
全自動色彩色差計操作規程 一 操作方法 1.連線電源,儀器預熱調零,開始測量 2.探頭底下放被測物體 標準樣品 光斑對準被測部位,按 測量 鍵,鳴 嘟 幾秒鐘後鳴 嘟嘟嘟 顯示s0 x y z值 3.多次連續按 顯示 鍵,即先後顯示出y x y等各種顏色資料。4.若要測色差,把探頭的光斑對準比測樣品...