材料近代測試與分析

1.電子束入射固體樣品表面會激發哪些訊號?它們有哪些特點和用途?

主要有六種：

1)背散射電子:

能量高；來自樣品表面幾百nm深度範圍；其產額隨原子序數增大而增多用作形貌分析、成分分析以及結構分析。

2)二次電子:

能量較低；來自表層5—10nm深度範圍；對樣品表面化狀態十分敏感。不能進行成分分析主要用於分析樣品表面形貌。

3)吸收電子:

其襯度恰好和se或be訊號調製影象襯度相反與背散射電子的襯度互補。吸收電子能產生原子序數襯度，即可用來進行定性的微區成分分析

4)透射電子：透射電子訊號由微區的厚度、成分和晶體結構決定可進行微區成分分析。

5)特徵x射線:

用特徵值進行成分分析，來自樣品較深的區域

6)俄歇電子:各元素的俄歇電子能量值很低；來自樣品表面1—2nm範圍。它適合做表面分析。

2.掃瞄電鏡的分辨幸受哪些因素影響?用不同的訊號成像時，其解析度有何不同?所謂掃瞄電鏡的解析度是指用何種訊號成像時的解析度?

在其他條件相同的情況下（如訊雜比、磁場條件及機械振動等）電子束的束斑大小、檢測訊號的型別以及檢測部位的原子序數是影響掃瞄電子顯微鏡解析度的三大因素。成像解析度（nm）：二次電子5-10，背散射電子50-200，吸收電子100-1000特徵x

射線100-1000，俄歇電子5-10

所謂掃瞄電鏡的解析度是指二次電子像的解析度。

3.掃瞄電鏡的成像原理與透射電鏡有何不同?

它不用電磁透鏡放大成像，而是用類似電視顯影顯像的方式，利用細聚焦電子束在樣品表面掃面試激發出來的各種物理訊號來調製成像的。

4二次電子像和背散射電子像在顯示表面形貌襯度時有何相同與不同之處?

答：相同處：均利用電子訊號的強弱來行成形貌襯度

不同處：1背散射電子是在乙個較大的作用體積內被入射電子激發出來的，成像單元較大，因而解析度較二次電子像低。

2背散射電子能量較高，以直線逸出，因而樣品背部的電子無法被檢測到，成一片陰影，襯度較大，無法分析細節；利用二次電子作形貌分析時，可以利用在檢測器收集光柵上加上正電壓來吸收較低能量的二次電子，使樣品背部及凹坑等處逸出的電子以弧線狀運動軌跡被吸收，因而使影象層次增加，細節清晰。