1。預抽時壓力值無顯示或顯示值很大，可能是1）真空幫浦抽速不夠，換幫浦油或清洗幫浦體；
2）石英管有破損或沒安裝好；
3）幫浦上壓差式放氣閥漏氣，需拆開來清洗；
4）預抽軟管漏氣，需更換；
5）石英管上蓋沒蓋好；
6）上進氣管破損，需更換。
2。主抽時壓力值有顯示，但值偏高，可能是
1）真空幫浦抽速不夠，換幫浦油或清洗幫浦體；
2）壓力感測器零點漂移，漂移較少可自行調整，過大需送廠家重新校準；
3）反應室或氣路漏氣，需對真空管道和氣路進行檢漏；
4）執行器模組壞了或過熱保護使真空碟閥沒動作；
5）執行器與真空碟閥的連線軸鬆動，執行器有動作，而真空碟閥沒有動作。
3。送氣時壓力值偏小，達不到設定的要求，可能是1）執行器模組壞了或過熱保護使真空碟閥沒動作；
2）執行器與真空碟閥的連線軸鬆動，執行器有動作，而真空碟閥沒有動作。
4。主抽時壓力真空度滿足要求，送氣時壓力過大，達不到設定要求，可能是1）送氣時真空幫浦的抽速不夠，換幫浦油或清洗幫浦體；
2）質量流量計損壞，流量過大。
5。送氣時壓力控制不穩定，可能是
1）壓力控制器pid引數不合適，重新調整pid引數；
2）執行器開度太小，調整各工藝引數大小，使執行器開度在15~20之間控制較穩定。
6。送氣時壓力穩定，但輝光時壓力控制不住，上下波動，可能是1）輝光時的射頻干擾，需要重新調整地線的位置或線圈的接入點；
2）檢查各射頻接頭是否鬆動，接點是否接觸很好。
7。輝光時反應室不起輝，板壓板流正常，反射功率大，調不下來，可能是1）射頻輸出線接頭有短路，拆開接頭檢查；
2）反應室的射頻接頭連線線脫落。
8。輝光時有板壓但很小，板流很大，無輝光，可能是1）rf電源功率調整板壞，需更換；
2）fu100電子管有短路，需更換；
3）rf電源前級推動板壞，需廠家維修；
4）在rf輸出線路上有電容短路，需更換。
9。輝光時有板壓，但很大，沒板流，不起輝，可能是1）rf電源的功率調整板壞，需更換；
2）射頻功率輸出電纜短路。
10。輝光時調節功率調節旋鈕不起作用，沒有板壓，也沒有板流，可能是1）fu100電子管損壞，需更換；
2）環形變壓器損壞，需更換；
3）功率調整板損壞，需更換。
11。輝光時亮度很暗，而且反應室上部亮而下部暗或不亮，匹配難調節，可能是
1）壓力感測器零點漂移，顯示的壓力值不是正確的；
2）射頻輸入線圈的接入點位置需要調整。
等離子切割機常見故障及排除方法
泛洋牌 pc d系列空氣等離子切割機常見故障及排除方法序號故障現象 故障原因 排除方法 1.電源指示燈 壞更換 2.2a保險絲壞 開啟等離子切割機主機 電 3.無輸入三相380v電壓 1源開關 後，電源指示燈不 4.輸入電源缺相 亮5.電源開關壞 更換檢修 萬用表檢查三相電源 更換6.控制板或主機壞...
賦彩塗料調色機常見故障及處理方法
1 電機不轉 a 電源沒接通，檢查電源插頭有沒有插好，開關有沒有開啟。b 保險絲熔斷，更換保險絲。c 電機電容或電機損壞，更換電機電容或更換電機。2 色漿流動不連續 a 閥體內有汽泡，按照前面介紹的排汽方法進行排汽。b 色漿沉澱，堵塞出漆嘴 清洗閥體元件。c 扳手沒有扳到最下面 出漆嘴出漆位置。3 ...
齒輪減速機常見故障 原因及處理方法
齒輪減速機罕見妨礙 緣故原由及處置懲罰要領 齒輪減速機罕見妨礙之運轉時有雜音 緣故原由 1.轉動軸承壞 2.齒輪磨損嚴峻處置懲罰要領 1.調換轉動軸承 2.調換齒輪 齒輪減速機罕見妨礙之聯合面或軸端漏油 緣故原由 1.油麵過高 2.上下聯合面螺栓沒擰緊或立體變形3.上下聯合而密封生效 4.軸封破壞 ...