課題：積體電路製造工藝（integrated circuit technology）
一、研究背景：
積體電路，就是在一塊半導體單晶元上，通過一系列特定的加工工藝，製造出許多電晶體、二極體等有源器件和電容、電阻等無源器件（元件工作時，內部沒有任何形式的電源供電），並按照一定的電路互連關係「組裝」起來，封裝在乙個外殼內，執行特定的電路或系統功能，這種新型電子器件在體積、重量、耗電、壽命上都優於傳統的半導體分立元件電路。
從晶圓到積體電路成品大概需要數百道工序，這些工序大致可分為三類：圖形轉換、摻雜、製模。這些工序需要反覆進行幾十次，例如pentium 4 cpu要經過26道光刻工序，每次需要使用不同的掩膜，再加上摻雜以及金屬鍍膜等很多處理步驟，乙個cpu製造工序達數
百道。簡言之，積體電路製造工藝就是把電路所需的各種元件用一定的工藝製作在一塊矽片上或其他材料上，再用適當的工藝進行互連，然後封裝起來，使之成為能應用於實際的晶元。
二、所屬學科和檢索式
學科範疇：無線電電子學、電信技術
中圖分類號：tn405（無線電電子學、電信技術》微電子學、積體電路（ic）>一般性問題》製造工藝）
檢索詞：積體電路製造工藝原理
檢索擴充套件詞（含上位詞、下位詞、同義詞等）：積體電路、ic 、integrated circuit、半導體器件、integrated semiconductor、製造工藝、製造原理、工藝流程、manufacturing technology
中文檢索式：（積體電路or ic or 半導體器件 ）and（製造工藝or工藝原理or工藝流程 ）
英文檢索式：（integrat* circuit or integrat* semiconductor）and（manufactur* technolog* or technolog* process)
3、中文資料庫
萬方資料庫：
利用萬方搜尋，通過武漢大學圖書館首頁進入萬方資料庫。我們先在不限定條件的情況下檢索一次看看有什麼樣的結果：
找到918條結果：
現在利用高階檢索：
文獻型別選擇期刊**、學位**、會議**
檢索表示式：
題名或關鍵詞:("積體電路 ") * 題名或關鍵詞:(製造工藝) * date:1995-2014
檢索結果82條，數量倒是還可以，但是仔細看看有一些和我想要的內容不相干，比如第一篇就是：**"積體電路製造工藝"的課程建設和教學實踐 ，所以我加入了條件，去掉包含「課程 or教學」的**，再次檢索，檢索式：
題名或關鍵詞:("積體電路 ") * 題名或關鍵詞:(製造工藝) ^ 題名或關鍵詞:(課程 or 教學) * date:1995-2014
這次結果是75條，數量和內容都比較滿意。
在檢索結果中，一篇名為《積體電路製造工藝探析》的**比較吸引我。
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