晶體矽太陽能電池的製造工藝流程

2022-11-05 03:09:03 字數 722 閱讀 8976

提高太陽能電池的轉換效率和降低成本是太陽能電池技術發展的主流。

晶體矽太陽能電池的製造工藝流程說明如下:

(1)切片:採用多線切割,將矽棒切割成正方形的矽片。

(2)清洗:用常規的矽片清洗方法清洗,然後用酸(或鹼)溶液將矽片表面切割損傷層除去30-50um。

(3)製備絨面:用鹼溶液對矽片進行各向異性腐蝕在矽片表面製備絨面。

(4)磷擴散:採用塗佈源(或液態源,或固態氮化磷片狀源)進行擴散,製成pn+結,結深一般為0.3-0.5um。

(5)周邊刻蝕:擴散時在矽片周邊表面形成的擴散層,會使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子乾法腐蝕去除周邊擴散層。

(6)去除背面pn+結。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面pn+結。

(7)製作上下電極:用真空蒸鍍、化學鍍鎳或鋁漿印刷燒結等工藝。先製作下電極,然後製作上電極。鋁漿印刷是大量採用的工藝方法。

(8)製作減反射膜:為了減少入反射損失,要在矽片表面上覆蓋一層減反射膜。製作減反射膜的材料有mgf2,sio2,al2o3,sio,si3n4,tio2,ta2o5等。

工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、pecvd法或噴塗法等。(9)燒結:將電池晶元燒結於鎳或銅的底板上。

(10)測試分檔:按規定引數規範,測試分類。

由此可見,太陽能電池晶元的製造採用的工藝方法與半導體器件基本相同,生產的工藝裝置也基本相同,但工藝加工精度遠低於積體電路晶元的製造要求,這為太陽能電池的規模生產提供了有利條件。

矽太陽能電池製造工藝流程圖

1 矽片切割,材料準備 工業製作矽電池所用的單晶矽材料,一般採用坩鍋直拉法制的太陽級單晶矽棒,原始的形狀為圓柱形,然後切割成方形矽片 或多晶方形矽片 矽片的邊長一般為10 15cm,厚度約200 350um,電阻率約1 cm的p型 摻硼 2 去除損傷層 矽片在切割過程會產生大量的表面缺陷,這就會產生...

太陽能電池關鍵工藝流程介紹

晶體矽太陽電池製造關鍵工藝 表面化學處理 目的 去除矽片表面由於切割而產生的機械損傷層,正反二表面各約10m 在矽片表面形成尖峰高度3 6m四方錐體絨面,間接增加電池對入射太陽光的吸收 清除矽片表面的油汙和重金屬離子等雜質 絨面形成方法 酸腐蝕與鹼腐蝕,本生產線單晶採用鹼腐蝕,多晶採用酸腐蝕。裝置 ...

太陽能電池組件生產工藝流程

太陽能電池組件線又叫封裝線,封裝是太陽能電池生產中的關鍵步驟,沒有良好的封裝工藝,多好的電池也生產不出好的元件板。電池的封裝不僅可以使電池的壽命得到保證,而且還增強了電池的抗擊強度。產品的高質量和高壽命是贏得可客戶滿意的關鍵,所以元件板的封裝質量非常重要。1.工藝流程 1 電池檢測 2 正面焊接 檢...