製備單 多 晶矽片 矽片線切割工藝及其標準

2022-09-19 07:57:03 字數 1779 閱讀 4319

太陽能矽片切割技術七重攻略

太陽能矽片的線切割機理就是機器導輪在高速運轉中帶動鋼線,從而由鋼線將聚乙二醇和碳化矽微粉混合的砂漿送到切割區,在鋼線的高速運轉中與壓**網上的工件連續發生摩擦完成切割的過程。

在整個切割過程中,對矽片的質量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化矽微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進給速度等。

一、切割液(peg)的粘度

由於在整個切割過程中,碳化矽微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。

1、切割液的粘度是碳化矽微粉懸浮的重要保證。由於不同的機器開發設計的系統思維不同,因而對砂漿的粘度也不同,即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士線切割機要求切割液的粘度不低於55,而ntc要求22-25,安永則低至18。

只有符合機器要求的切割標準的粘度,才能在切割的過程中保證碳化矽微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩定地通過砂漿管道隨鋼線進入切割區。

2、由於帶著砂漿的鋼線在切割矽料的過程中,會因為摩擦發生高溫,所以切割液的粘度又對冷卻起著重要作用。如果粘度不達標,就會導致液的流動性差,不能將溫度降下來而造成灼傷片或者出現斷線,因此切割液的粘度又確保了整個過程的溫度控制。

二、碳化矽微粉的粒型及粒度

太陽能矽片的切割其實是鋼線帶著碳化矽微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是矽片表片的光潔程度和切割能力的關鍵。雷射劃片機、粒型規則,切出來的矽片表明就會光潔度很好;粒度分布均勻,就會提高矽片的切割能力。

三、砂漿的粘度

線切割機對矽片切割能力的強弱,與砂漿的粘度有著不可分割的關係。而砂漿的粘度又取決於矽片雷射劃片機切割液的粘度、矽片切割液與碳化矽微粉的適配性、矽片切割液與碳化矽微粉的配比比例、砂漿密度等。只有達到機器要求標準的砂漿粘度(如ntc機器要求250左右)才能在切割過程中,提高切割效率,提高成品率。

四、砂漿的流量

鋼線在高速運動中,要完成對矽料的切割,必須由砂漿幫浦將砂漿從儲料箱中打到噴砂咀,再由噴砂咀噴到鋼線上。砂漿的流量是否均勻、流量能否達到切割的要求,都對切割能力和切割效率起著很關鍵的作用。如果流量跟不上,就會出現切割能力嚴重下降,導致線痕片、斷線、甚至是機器報警。

五、鋼線的速度

由於線切割機可以根據使用者的要求進行單向走線和雙向走線,因而兩種情況下對線速的要求也不同。單向走線時,鋼線始終保持乙個速度執行(mb和hct可以根據切割情況在不同時間作出手動調整),這樣相對來說比較容易控制。目前單向走線的操作越來越少,僅限於mb和hct機器。

雙向走線時,鋼線速度開始由零點沿乙個方向用2-3秒的時間加速到規定速度,執行一段時間後,再沿原方向慢慢降低到零點,在零點停頓0.2秒後再慢慢地反向加速到規定的速度,再沿反方向慢慢降低到零點的週期切割過程。在雙向切割的過程中,線切割機的切割能力在一定範圍內隨著鋼線的速度提高而提高,但不能低於或超過砂漿的切割能力。

如果低於砂漿的切割能力,就會出現線痕片甚至斷線;反之,如果超出砂漿的切割能力,就可能導致砂漿流量跟不上,從而出現厚薄片甚至線痕片等。

目前mb的平**速可以達到13公尺/秒,ntc達10.5-11公尺/秒。

六、鋼線的張力

鋼線的張力是矽片切割工藝中相當核心的要素之一。張力控制不好是產生線痕片、崩邊、甚至**的重要原因。

1、鋼線的張力過小,將會導致鋼線彎曲度增大,帶砂能力下降,切割能力降低。從而出現線痕片等。

2、鋼線張力過大,懸浮在鋼線上的碳化矽微粉就會難以進入鋸縫,切割效率降低,出現線痕片等,並且斷線的機率很大。

3、如果當切到膠條的時候,有時候會因為張力使用時間過長引起偏離零點的變化,出現崩邊等情況。

mb、ntc等線切割機一般的張力控制在送線和收線相差不到1,只有安永的相差7.5。

七、工件的進給速度

多晶矽薄膜的製備方法

多晶矽薄膜材料同時具有單晶矽材料的高遷移率及非晶矽材料的可大面積 低成本製備的優點。因此,對於多晶矽薄膜材料的研究越來越引起人們的關注,多晶矽薄膜的製備工藝可分為兩大類 一類是高溫工藝,製備過程中溫度高於600 襯底使用昂貴的石英,但製備工藝較簡單。另一類是低溫工藝,整個加工工藝溫度低於600 可用...

多晶矽廢水

瑞潔特 平板膜在多晶矽廢水中的應用 隨著資訊科技和太陽能產業的飛速發展,全球對多晶矽的需求增長迅猛,市場供不應求。世界多晶矽的產量2005年為28750噸,其中半導體級為20250噸,太陽能級為8500噸。半導體級需求量約為19000噸,略有過剩 太陽能級的需求量為15600噸,供不應求。近年來,全...

多晶矽可研

合同編號 中電投新疆能源 中電投伊犁煤電矽一體化專案 專案名稱 20000噸 年多晶矽專案可行性研究報告編制合同 委託方 甲方 中電投新疆能源 中電投伊犁電矽一體化專案 受託方 乙方 華陸工程科技有限責任公司 簽訂時間 2011年月日 簽訂地點 新疆 有效期限 雙方履行本合同完畢之日 中華人民共和國...