使用者主要通過擦拭布的材質、吸收率、潔淨度和費用來評估無塵布。在半導體行業的潔淨室中對無塵擦拭布塵粒、離子、esd等有很高的要求。iest-rp-cc004.
3提供了一些評估無塵擦拭布的方法。
無塵布需進行嚴格測試以達到效能要求和汙染控制標準，一般無塵布需進行以下測試：
▲ 抗磨損性測試
通常，抗磨損性測試屬於布料物理性質的測試。但在無塵布的測試中，因為磨損的過程會產生塵粒，因此，將無塵布的抗磨損性測試歸納為汙染控制範圍更合適。
*測試標準：抗磨損性越強越不容易產生塵粒。
▲ 基重
根據astm-d-3776測試無塵布單位面積的重量
*參考測試標準：一般要求在150－300g/m2
▲ 吸液量和吸液速度
根據iest-rp-cc004.3第8節要求，需測試無塵布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是單位面積的無塵布的吸收液體的毫公升數。
吸液速率是指無塵布吸收10ml液體所需的時間。
以上兩種測量都須測量三次並計算平均值
*參考測試標準：吸液量一般不小於400g/m2
吸液速度一般不大於1秒。
▲ ic測試
根據iest-rp-cc004.3第7.2節要求，定性定量地測量無機陰陽離子含量。
*參考測試標準，在磁頭行業，一般要求cl-≤0.03ug/cm2; so42-≤0.03ug/cm2; no3-≤0.03ugcm2; total:＜1.0ug/cm2
▲ nvr測試
根據iest-rp-cc004.3第7.1節要求,測試單位面積上的不揮發性殘留物。
nvr測試是將無塵布浸泡於一定量的溶劑中一定量的時間，然後將無塵布取出，測試溶於溶劑中的不揮發性殘留物的質量。
*參考測試標準：在磁頭行業，一般要求＜3.0ug/cm2
▲ lpc測試
根據iest-rp-cc004.3第6.2.1節的要求，對無塵布進行lpc測試。
lpc可測試無塵布上的液態塵粒數。
lpc測試是將無塵布浸泡在一定量的di水中，經過超聲波振盪，檢測di水中的塵粒濃度。
*參考測試標準：在磁頭行業，一般要求＜30counts/cm2
▲ ftir測試
傅利葉變化紅外光譜測試
▲ gc測試
gc測試是用來分析無塵布上有機汙染物種類和含量的一種方法。
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