整套廢氣處理系統裝置包括：噴淋塔+性炭棉過濾箱+低溫離子裝置三部分。
其中噴淋塔跟過濾裝置是屬於預處理部分，主要作用是去除廢氣中的粉塵顆粒其到預處理作用，降低等離子部分的處理負荷，從而達到汙染治理的目的。
一、噴淋塔注意事項
1、 噴淋塔一般嚴禁空轉，當迴圈水抽空情況必須補充自來水，防止電機燒壞，
2、 如果出現噴淋效果不明顯，以及電機水幫浦電機雜訊過大，是噴頭堵塞原因，需開啟觀察口，清理噴頭。
3、 噴淋塔其最頂層一般情況下關閉，是防止水汽過大被風機帶入後端裝置中導致處理效果變差，
4、 噴淋噴淋塔迴圈廢水建議2週至乙個月內更換一次，將廢水排至汙水處理系統中進行處理。
二、過濾箱注意事項
1、過濾箱一般分三層過濾網，一層濾網放2~3層活性炭過濾棉.
2、當過濾棉堵住以後將其拆除，清理掉裡面裝置內的濾渣，再將第一層的過濾棉拆掉（裡面兩層過濾棉一般是乾淨的）然後可新加一層過濾棉或者直接用鐵線綁好後直接使用（待過濾棉全部堵住後一起更換）。
三、低溫等離子注意事項
系統維護方案
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