我們公司有4臺x射線螢光光譜分析儀，下面簡稱其為分析儀。四線牛津mdx1000分析儀；
一、二、三線帕納科axios分析儀。該儀器購買價昂貴，相應配件、維修費用也十分昂貴，在日常的維修及維護工作中時刻保持小心謹慎的態度對待。
我們公司使用的分析儀是一種順序式的分析儀，是掃瞄型儀器，當儀器執行時，許多部件都在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器、時樣卸樣裝置等，經常動作的部件容易出現問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現問題。現介紹幾種常見故障產生的原因和處理辦法。
一線牛津mdx分析儀，高壓發生器高壓開啟故障。
故障分析：
這是分析儀的常見故障，一般發生在開機時，偶爾也發生在儀器執行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、x射線防護系統；2、內部油迴圈冷卻系統；3、高壓發生器及x射線光管故障。
1.1x射線防護系統
為了防止x射線洩漏，高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才能啟動。射線防護系統正常與否，主要檢查以下二部分：
1、 頂蓋的位置是否正常。x射線分析儀是乙個封閉系統，頂蓋是最外層的射線防護裝置，如果頂蓋扣合不是完全緊密，儀器就有射線洩漏的可能。因此頂蓋上都有限位開關，限位開關訊號不到位或是限位開關故障都會引起高壓開不起來。
2、 x射線的警示標誌是否正常。國家有標準規定x射線分析儀必須安裝黃色訊號燈並與相應的開關聯動，因此如果訊號燈失靈，高壓也開不起來。
1.2 內部油迴圈冷卻系統
高壓發生器的輸出功率4kw，將高壓加至x射線光管後，除小部分用於產生x射線外，大部分轉化為熱能，由內部油迴圈冷卻系統帶走。內迴圈冷卻系統用於光管頭部分，因此要求內迴圈油為電導率很低的專用油，由於比較昂貴我採用了電導率比較低的變壓器油代替，以防止高壓擊穿。如果長期使用的冷卻油電導率會發生變化應及時更換。
如果迴圈系統的流速過低也會發生高壓開不了的故障，一般原因是油幫浦停轉或是電機燒壞。
1.3 高壓發生器及x射線光管故障
高壓發生器和x射線光管是儀器內最貴重的部件，一般不會出問題。檢查高壓發生器，可將高壓發生器開啟，根據電路圖，檢查各個開關是否在正常位置，檢查一下保險有沒有熔斷，再進一步檢查最好由廠家專業的維修工程師來做。x射線光管是個封閉的部件，一旦損壞，只能更換，不能修理。
檢查x射線光管，可檢查x射線光管與高壓電纜的連線是否正常，高壓電纜耐壓值是否還有光管要求的耐壓值。
二、三線axios光譜計數率不穩定故障
x射線分析儀的常用探測器有二個：流氣計數器和閃爍計數器。閃爍計數器很穩定，問題常出現在流氣計數器上。
流氣計數器視窗膜由一塊聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上一層很薄的鋁膜所構成，由於窗膜承受大氣壓力，一段時間表後隨著基體材料的延展，鋁膜可能產生裂紋，從而減弱導電性能，這種情況對脈衝高度分布影響不大，但會使計數率不穩定。
檢查方法：在低x射線光管功率下，選乙個kka計數率約為2000cps的樣品，測定計數率，然後用乙個鉀含量高的樣品取代原樣品，將光管調到滿功率，保持2分鐘，再將x射線淡然處之功率減至原值，測量第乙個樣品，如窗膜導電正常，將得到原計數率，如窗膜導電性能變差，會發現計數率減小，然後慢慢回公升至初始值，這時就應更換視窗膜了。
分析儀是一種非常貴重的生產裝置。其維修、維護難度也是很大的，關鍵是要對它的了解，積累豐富的維修經驗，維修起來也就得心應手了！經驗豐富了，很大一部分的維修任務都可以自已完成，不用給廠家支付昂貴的維修費用。
2023年3臺螢光儀運轉率還算不錯的，全年共有13起執行故障：一線mdx1000牛津儀器出現故障6起，真空系統故障4起，控制迴路故障2起，為節約維修成本採用國產配件更替進口配件經長時間執行效果良好；二線、三線帕納科axios儀器，出現停機無法執行故障7起，主要故障點是裝置內迴圈冷卻系統、裝置真空系統、進樣系統。
X螢光光譜分析儀工作原理
用x射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的螢光x射線，需要把混合的x射線按波長 或能量 分開，分別測量不同波長 或能量 的x射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫x射線螢光光譜儀。由於x光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，x射線螢光光譜儀有兩種基本型別 波長色散型和能量色散型。下...
南京大學 X射線螢光光譜分析實驗報告
x螢光分析 一 實驗目的 1 了解能量色散螢光分析的原理 儀器構成和基本測量 分析方法。2 驗證莫塞萊定律，並從實驗推出遮蔽常數。3 研究對多道分析器的定標，以及利用螢光分析測量位未知樣品成分及相對含量的方法。二 實驗原理 以一定能量的光子 電子 原子 粒子或其它離子轟擊樣品，將物質原子中的內殼層電...
能量色散X射線螢光光譜儀校準方法
目錄1 範圍3 2 引用文獻3 3 術語和計量單位3 4 概述3 5 計量效能要求3 6 校準條件4 7 校準專案和校準方法5 8 校準結果6 9 復校的時間間隔7 1 範圍 本規範適用於新生產 使用中和修理後的能量色散x射線螢光光譜儀的校準。2 引用文獻 jjg 810 93 波長色散x射線螢光光...