廠房廢氣處理系統管理流程

2021-03-25 15:15:20 字數 929 閱讀 2922

1 範圍

本檔案規定了202廠房廢氣處理系統管理流程。

本檔案適用於廢氣處理系統。

2 職責

2.1 將各事業部排放的製程廢氣處理到合格的排放標準。

2.2 保證廢氣得到及時的處理與排放。

2.3 酸鹼排風

2.3.1 中和事業部排放的酸鹼性氣體

2.3.2 保證合適的排放處理量

2.3.3 使用物資:naoh、水

2.4 特氣排風

2.4.1 處理302廠房pecvd區的矽烷、氨氣的混合廢氣

2.4.2 防止特氣混合氣體排放**。

2.4.3 保證合適的排放處理量。

2.4.4 使用物資:氮氣、水

2.5 有機排風

2.5.1 處理302廠房的有機廢氣

2.5.2 保證合適的排放處理量

2.5.3 使用物資:活性炭

3 異常事故處理流程

當系統出現異常時,及時匯報系統負責人、部門領導及影響區域負責人。協助處理異常事故具體參見《廢氣處理系統異常處理流程》。

4 崗位責任

4.1 值班人員崗位職責

保證系統的正常執行,及排除系統潛在的停機隱患具體參見《廢氣處理值班人員崗位職責》

4.2 值班人員巡檢職責

定時對廢棄處理系統進行巡檢、記錄資料具體參見《廢氣處理值班人員崗位職責》。

5 裝置維護保養

對系統進行定期的檢修及保養具體參見《廢氣處理系統維護保養》。

6 操作細則

每日**時需確定作業系統處於正常工作控制點,裝置工作狀態處於正常工作狀態。如需要進行狀態更改操作需通知系統負責人到現場進行,或得到授權後按《廢氣處理系統操作規程》操作。不得無故修改系統運**況,更改裝置執行狀態。

7 應急處理

詳細參見《廢氣處理系統異常及緊急事故處理流程》。

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