《矽材料與晶圓技術》課程教學大綱

2021-03-04 09:35:23 字數 1753 閱讀 9566

一、課程基本情況

二、課程性質與作用

《矽材料與晶圓技術》是光電技術學院應用物理學和材料物理專業的專業方向選修課,是材料科學與工程學科工程領域技術人員的基本知識和基本能力的重要組成部分。通過本課程的學習,使學生了解矽材料的基本性質、矽材料製備基礎理論,掌握多晶矽生產技術、單晶矽製備原理及方法,理解矽片加工技術,為將來工作打下良好的基礎。

本課程與《新能源材料》、《光伏器件和光伏技術》、《材料效能學》、《現代測試分析技術》一起為《材料效能課程設計》和《光電子器件綜合設計》提供必要的理論基礎,為本專業工程實踐一級和二級專案開展提供理論與研究方法的指導。

三、培養目標與對應指標

通過《矽材料與晶圓技術》課程的學習,使學生了解矽材料的基本性質、矽材料製備基礎理論,掌握多晶矽生產技術、單晶矽製備原理及方法,理解矽片加工技術,為將來從事相關研究和實際工作打下良好的基礎。

本課程具體完成培養方案中以下指標,重點完成指標1.3、4.3、4.5。

注:該表所列指標可對照培養方案中所列指標來解釋。i:

介紹,指從教、學活動中、從生活經驗和社會經驗等多種資訊渠道獲得知識,側重知識的獲取,沒有實訓要求。t:講授,指教、學活動中由教師引導開展的基礎測試或練習,匹配有課程討論、課後研討等環節。

u:運用,指以學生為主導,通過實練而形成的對完成某種任務所必須的活動方式,匹配有課程的**專案或其它實踐環節。

四、理論教學內容與學時分配

五、實踐教學內容與學時分配

本課程開出的實踐專案詳見下表:

六、學業考核

七、其他說明

撰寫人院(部、中心)教學主管簽字(蓋章):

年月附:

實踐環節考核標準

每個實驗專案成績採用倒扣分制度。起評分100分,最多扣分100分,扣分點如下:

一、預習報告

1、預習報告――內容不全扣5~20分

2、實驗原理――不清楚、無相應原理圖(光路、電路或裝置圖)扣5~10分;設計性實驗的設計過程不清楚扣5~50分

3、實驗內容與步驟――不符合實際要求扣10分

4、無原始資料記錄**――扣5分

5、教師提問、抽查不能回答――扣5~10分

二、實驗操作(內容按教師的要求)

1、遲到――扣5~20分(遲到超過30分鐘,不允許操作該實驗且成績記為0分)

2、早退――該實驗成績記為0分

3、上課紀律――不安靜、隨意走動等,扣5~20分

4、損壞儀器――按價賠償,扣5~30分

5、操作效果――視具體情況增減分數

6、操作完成――不按要求整理儀器、打掃衛生,扣5~10分

三、實驗報告(內容按補充資料的要求)

1、字跡不端正,排列不整齊,扣5~15。

2、報告內容順序不正確,扣5~10分

3、報告內容缺(實驗題目,實驗目的,實驗儀器,內容與步驟,結果討論)中任一項扣10分,多缺多扣。其中儀器無編號及重要引數的扣10分

4、報告內容缺(實驗原理,注意事項和回答預習思考題,實驗結果,資料記錄和轉抄)中任一項扣20分,多缺多扣,其中:

(1) 沒有交原始資料記錄紙,扣10分

(2) 原始資料沒有轉抄到實驗報告上,扣10分

(3) 結果表示不正確或不全面,扣5~10分

(4) 結果(結論)不正確,扣5~10分

5、報告內容缺資料處理部分,扣30分,其中:

(1) 處理方法錯誤,扣5~20分

(2) 處理內容不完整,扣5~20分

(3) 處理過程不清楚(差必要的中間計算過程),扣5~30分

6、不按時上交實驗報告,扣10~30分或該實驗成績記為0分。

矽材料與晶圓技術

一 課程基本情況 二 課程性質與作用 矽材料與晶圓技術 是光電技術學院應用物理學和材料物理專業的專業方向選修課,是材料科學與工程學科工程領域技術人員的基本知識和基本能力的重要組成部分。通過本課程的學習,使學生了解矽材料的基本性質 矽材料製備基礎理論,掌握多晶矽生產技術 單晶矽製備原理及方法,理解矽片...

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