無油幹幫浦是指幫浦能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，幫浦腔內無油或其他工作介質，而且幫浦的極限壓力與油封式真空幫浦同等量級或者接近的機械真空幫浦。
目前，真空行業使用的大多數機械真空幫浦都是用油、水或其它聚合物等流體充當幫浦的工作介質，在幫浦內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。
隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空幫浦及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是幫浦的工作介質返流汙染被抽容器，而這種返流在許多情況下會影響產品的質量、數量，增加裝置的維護成本。其次，由於某些工藝過程中的反應物質使真空幫浦內的介質嚴重變質，使幫浦不能正常工作。
對於普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空幫浦加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得複雜。而使用適當型式的乾式機械真空幫浦，則可以達到理想的使用效果。
幹幫浦的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝。
在這些工藝中，不希望微粒混入幫浦油中，而希望微粒排出幫浦外，用一定型式的乾式機械真空幫浦可以滿足要求；4）化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、乾燥、脫泡、包裝等，防止有機溶劑造成汙染，適合用乾式真空幫浦；5）用做一般無油清潔真空系統的前級幫浦，以防止油汙染。
近年來，幹幫浦得到迅速的發展，國外多家大真空公司都研製出了新型的幹幫浦。國內的許多單位也一直在進行幹幫浦的開發研製工作，如東北大學、瀋陽真空技術研究所、上海真空幫浦廠等。目前，幹幫浦主要分為接觸型及非接觸型。
接觸型的乾式幫浦有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類幫浦的速度較低，適用於小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的乾式幫浦有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同型別的乾式幫浦具有各自的特點。
使用時可根據不同的用途加以選擇。
美國varian公司是當今世界上最具影響力的真空產品製造商之一，varian公司利用乾式渦旋真空獲得技術為使用者提供了高抽速，低極限壓強的真空幫浦產品，專為潔淨的無油系統設計，抽氣範圍從大氣壓至10-2mbar。這種幹幫浦具有全無油、高耐用性、高可靠性以及易維護等優勢，是眾多應用領域的理想前級真空獲得產品。
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