太陽能電池擴散裝置簡介

2022-09-21 21:48:09 字數 401 閱讀 2604

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太陽能電池擴散裝置,包括擴散爐和機台排風端。太陽能電池擴散裝置的運轉流程是,擴散爐內產生的廢氣

通過管道從機台排風端排出,機台排風端安裝排風壓力控制閥和相應的排風壓力控制器。抽氣排風壓力穩定後,磷在矽片中的注入濃度穩定後,方塊電阻也隨之穩定,可以提公升最終太陽能電池的效率5%。

擴散爐是太陽能電池片形成p-n結的核心元件,擴散爐的質量直接影響到電池片的效能。現在太陽能廠家流行

的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟著陸擴散,開管擴散的產量比較低,偏磷酸的用量比較大;閉管擴散工藝過程完全不受外界環境干擾;軟著陸擴散是根據現有6-8英吋積體電路擴散裝置,而提出的新概念;軟著陸擴散工藝質量完全受控;工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放;更加安環保。

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