一、 優等品(ⅰ類片)
物理、化學特性
①型號晶向〈100〉±1°； ②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3；
③碳含量: ≤5×1016at/cm3； ④少子壽命:τ=1.
3-3.0μs(在測試電壓≥20mv下裸片的資料)； ⑤電阻率: 0.
9-1.2、1.2-3.
0、3.0-6.0ωcm；.
⑥位錯密度：≤3000個/cm2；2、幾何尺寸, ①邊長：125×125±0.
5mm；
②對角：150×150±0.5mm；
③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1mm;
④垂直度：任意兩邊的夾角90°±0.3°；
⑤厚度：200±20μm; (中心點厚度≥195μm,邊緣四點厚度≥180 μm180±20μm; (中心點厚度≥175μm,邊緣四點厚度≥160 μm ⑥ttv：≤30μm;
⑦彎曲度：≤40μm；"
3、表面指標
①線痕：無可視線痕； ②目視表面：無沾汙、無水漬、染色、白斑、指印等；
③無崩邊、無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲；
二、 合格品（ⅱ類片）
物理化學特性9 }: ①型號晶向〈100〉±1°；
②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3
③碳含量: ≤5×1016at/cm3；
④少子壽命:τ=1.0-1.2μs(在測試電壓≥20mv下裸片的資料)；⑤電阻率:0.5-0.8ωcm；
⑥位錯密度：≤3000個/cm2-
2、幾何尺寸 ①邊長：125×125±0.5mm；
②對角：150×150±0.5mm；
③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1.5mm;
④垂直度：任意兩邊的夾角90°±0.3°；
⑤厚度：200±20μm;(中心點厚度≥195μm,邊緣四點厚度≥180 μm) 180±20μm;(中心點厚度≥175μm,邊緣四點厚度≥160 μm)
⑥ttv：≤30μm; ⑦彎曲度：≤40μm；
3、表面指標 ①線痕：無明顯線痕、觸控無凹凸感。 ②崩邊範圍：
崩邊口不是「v」型、長×深≤1×0.5mm，個數≤1個/片；無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲；7三、 等外品（ⅲ類片）
f1、物理、化學特性 ①型號n 晶向〈100〉±3°； ②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3； ③碳含量: ≤5×1016at/cm3；
④少子壽命:τ＜1.0μs(在測試電壓≥20m下裸片的資料
⑤電阻率: ≤0.5ωcm
⑥位錯密度：＞3000個/cm2； 2、幾何尺寸
①邊長：125×125±1.0mm
②對角：150×150±1.0mm；
③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1.5mm;'
④垂直度：任意兩邊的夾角90°±0.5°；
⑤厚度：＜160μm
3、表面指標
①有明顯線痕、觸控有凹凸感。說明：只要滿足第三條「等外品（ⅲ類片）」的任意一項就判為不合格品。
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