2氣體流量感測器介紹

2022-05-12 13:28:53 字數 1072 閱讀 8586

分類半導氣體感測器

這種型別的感測器在氣體感測器中約佔60%,根據其機理分為電導型和非電導型,電導型中又分為表面型和容積控制型.

(1 ) sno2半導體是典型的表面型氣敏元件,其感測原理是sno2為n 型半導體材料。當施加電壓時,半導體材科溫度公升高,被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了o2或o2原性氣體h2、co、ch4存在時,使半導體表面電阻下降,電導上公升,電導變化與氣體濃度成比倒。nio為p型半導體,氧化性氣體使電導下降,對o2敏感。

zno半導體感測器也屬於此種型別。

半導體氣體感測器

a. 電導型的感測器元件分為表面敏感型和容積控制型,表面敏感型感測材料為sno2+pd 、zno十pt 、ago、v 205 、金屬酞青、pt —sno2。 表面敏感型氣體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體c0、no2、 氟利昂。

感測材料pt —sno2 的氣體感測器可檢測氣體為可燃性氣體co、h2、ch4 。

b. 容積控制型感測材料為fe2o8、la1-ssrxcoo8 和tio2、coo-mgo —sno2體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體co、no2 氟利昂。。感測材料pt —sno2

容積控制型半導體氣體感測器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。

( 2) 容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化,電導變化與氣體濃度成比例關係。

fe2o8、tio2屬於此種,對可燃性氣體敏感。

(3) **性感測器,是利用熱導率變化的半導體感測器,又稱**性半導體感測器,是在pt 絲線圈上塗敷sno2層,pt絲除起加熱作用外,還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱,表面吸氧,使自由電子濃度下降,可燃性氣體存在時,由於燃燒耗掉氧自由電子濃度增大,導熱率隨自由電子濃度增加而增大,散熱率相應增高,使pt 絲溫度下降,阻值減小,p t絲阻值變化與氣體濃度為線性關係。

這種感測器體積小、穩定、抗毒,可檢測低濃度氣體,在可燃氣體檢測中有重要作用。

( 4) 非電導型的fet場效應電晶體氣體感測器,pd —fet.場效應電晶體感測器,利用pd 吸收h z 並擴散達到半導體si 和pd的介面,減少pd 的功函,這種對h2、co敏感。非電導型fet場效應電晶體氣體感測器體積小,便於整合化,多功能,是具有發展前途的氣體感測器。

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