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其處理工藝流程如圖1所示。
圖1 cwao法工藝流程
1-貯存罐；2-分離器；3-健化反應器；4-再沸器；5-分離器；6- 迴圈幫浦；7- 透平機；8-空壓機；9-熱交換器；1o-高壓幫浦
其工藝過程為：廢水通過貯存罐由高壓幫浦打入熱交換器，與反應後的高溫氧化液體換熱，使溫度上公升到接近於反應溫度後進入反應器。反應所需的氧由壓縮機打入反應器。
在反應器內，廢水中的有機物與氧發生放熱反應。在較高溫度下將廢水中的有機物氧化成二氧化碳和水，或低階有機酸等中間產物。反應後氣液混合物經分離器分離，液相經熱交換器預熱進料，**熱能。
高溫高壓的尾氣首先通過再沸器(如廢熱鍋爐)產生蒸汽或經熱交換器預熱鍋爐進水。其冷凝水由第二分離器分離後通過迴圈幫浦再打入反應器，分離後的高壓尾氣送入透平機產生機械能或電能。因此，這一典型的工業化催化濕式氧化系統不但處理了廢水，而且對能量逐級利用，減少了有性能量的損失，維持並補充催化濕式氧化系統本身所需的能量。
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