薄膜材料與技術實驗報告

2022-08-29 00:06:14 字數 849 閱讀 6965

實驗一脈衝雷射沉積方法製備zno薄膜實驗

一、實驗目的

(1)通本實驗使學生了解真空幫浦的使用方法和真空計的測量原理。

(2)使學生了解並熟悉脈衝雷射沉積系統的結構和使用方法。

(3)掌握在矽基片上沉積zno薄膜的工藝過程。

二、實驗原理

(1)脈衝雷射沉積方法介紹

(2)zno薄膜簡介(結構、效能)

三、實驗內容

(1)基片的清洗。

(2)低真空和高真空的獲得與測量,使用真空計進行真空的跟蹤測量。

(3)設定實驗工藝引數製備zno薄膜。

四、實驗原料與器材

(1)實驗原材料: 基片、靶材、氣體等(2)實驗儀器:

五、實驗步驟與記錄

六、分析討論

實驗二脈衝雷射沉積法製備類金剛石薄膜實驗

一、實驗目的

(1)進一步了解脈衝雷射沉積方法原理。

(2)利用脈衝雷射沉積方法在矽基片上沉積類金剛石薄膜。

二、實驗原理

(1)脈衝雷射沉積原理及特點

(2)類金剛石薄膜介紹

三、實驗內容

(1)高真空的獲得與測量方法。

(2)等離子體羽的形成。

(3)設定實驗工藝引數製備類金剛石薄膜。

四、實驗原料與器材

(1)實驗原材料:

(2)實驗儀器:(介紹各個組成部分)

五、實驗步驟與記錄

六、分析討論

七、實驗報告要求

(1)描述實驗過程中觀察到的各種現象,並給出合理的解釋。

(2)實驗裝置中各主要部分的用途。

(3)詳細記錄實驗過程、工藝引數及實驗步驟,給出zno薄膜製備的實驗研究報告。

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