機械真空幫浦的工作原理及結構特點 secret

一、變容真空幫浦

它是利用幫浦腔容積的週期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空幫浦。氣體在排出幫浦腔前被壓縮。這種幫浦分為往復式及旋轉式兩種。

1、往復式真空幫浦

利用幫浦腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮並排出。又稱為活塞式真空幫浦。

2、旋轉式真空幫浦

利用幫浦腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮並排出。它大致有如下幾種分類：

1)油封式真空幫浦它是利用真空幫浦油密封幫浦內各運動部件之間的間隙，減少幫浦內有害空間的一種旋轉變容真空幫浦。這種幫浦通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空幫浦、定片式真空幫浦、滑閥式真空幫浦、餘擺線真空幫浦等。

2)液環真空幫浦將帶有多葉片的轉子偏心裝在幫浦殼內。當它旋轉時，把工作液體拋向幫浦殼形成與幫浦殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積週期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以亦稱為水環式真空幫浦或油環式真空幫浦。

3)乾式真空幫浦它是一種幫浦內不用油類(或液體)密封的變容真空幫浦。由於乾式真空幫浦幫浦腔內不需要工作液體，因此，適用於半導體行業、化學工業、製藥工業及食品行業等需要無油清潔真空環境的工藝場合。

4)羅茨真空幫浦幫浦內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同幫浦殼內壁之間均保持一定的間隙。

二、動量傳輸幫浦

它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從幫浦的入口傳輸到出口。

分子真空幫浦

它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空幫浦。這種幫浦具體可分為：

1)牽引分子幫浦氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到幫浦的出口。

2)渦輪分子幫浦靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種幫浦通常在分子流狀態下工作。

3)復合分子幫浦它是由渦輪式和牽引式兩種分子幫浦串聯組合起來的一種複合型的分子真空幫浦。