真空常用資料表
1、真空區域劃分
2、抽氣速率單位換算表
真空名詞術語
1、真空的定義
真空系統指低於該地區大氣壓的稀簿氣體狀態
2、真空度
處於真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用「真空度高」和「真空度低」來表示。真空度高表示真空度「好」的意思，真空度低表示真空度「差」的意思。
3、真空度單位
通常用托（torr）為單位，近年國際上取用帕（pa）作為單位。
1託＝1/760大氣壓＝1公釐汞柱
4、託與帕的轉換
1託＝133.322帕或 1帕＝7.5×10-3託
5、平均自由程
作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號「λ」表示。
6、流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用「q」表示，單位為帕·公升/秒（pa·l/s）或託·公升/秒（torr·l/s）。
7、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為公升/秒（l/s），在穩定狀態下，管道流導等於管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作「u」。 u＝q/(p2- p1)
8、壓力或壓強
氣體分子作用於容器壁的單位面積上的力，用「p」表示。
9、標準大氣壓
壓強為每平方厘公尺101325達因的氣壓，符號：（atm）。
10、極限真空
真空容器經充分抽氣後，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最後乙個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
11、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由幫浦進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即sp＝q/（p－p0）
19、水環真空幫浦
幫浦的葉輪轉子旋轉而產生水環。由於轉子偏心旋轉而使水環與葉片間容積發生週期性改變而進行抽氣的機械真空幫浦。
20、往復真空幫浦
利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空幫浦。
21、油封機械真空幫浦
用油來保持密封的機械真空幫浦，可分為定片式、旋片式、滑閥式、餘擺線式等。
22、羅茨真空幫浦
具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空幫浦，此幫浦不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣的真空幫浦。
23、渦輪分子真空幫浦
有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級幫浦抽除。
24、油擴散真空幫浦
擴散幫浦噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，並被蒸汽帶向幫浦出口處逐級被壓縮後再由前級幫浦排除。
25、低溫真空幫浦
利用20k以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空幫浦。
26、冷阱（水冷擋板）
置於真空容器和幫浦之間，用於吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
27、氣鎮閥
油封機械真空幫浦的壓縮室上開一小孔，並裝上調節閥，當開啟閥並調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除幫浦外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。
28、真空冷凍乾燥
真空冷凍乾燥，也稱昇華乾燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然後在真空下使冰昇華而達到乾燥目的。
29、真空蒸鍍
在真空環境中，將材料加熱並鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
30、真空乾燥
利用真空環境下沸點低的特點來乾燥物品的方法。
31、真空系統常用名稱
(1)主幫浦：在真空系統中，用於獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空幫浦，如真空鍍膜機中的油擴散幫浦就是主幫浦。
(2)前級幫浦：用於維持某一真空幫浦前級壓強低於其臨界前級壓強的真空幫浦。如羅茨幫浦前配置的旋片或滑閥幫浦就是前級幫浦。
(3)粗抽幫浦：從大氣壓下開始抽氣，並將系統壓力抽到另一真空幫浦開始工作的真空幫浦。如真空鍍膜機中的滑閥幫浦，就是粗油幫浦。
(4)維持幫浦：在真空系統中，氣量很小時，不能有效地利用前級幫浦。為此配置一種容量較小的輔助幫浦來維持主幫浦工作，此幫浦叫維持幫浦。如擴散幫浦出口處配一台小型旋片幫浦，就是維持幫浦。
選用真空幫浦時，需要注意下列事項：
1、真空幫浦的工作壓強應該滿足真空裝置的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度，選用的真空幫浦的真空度至少要5×10-6mmhg。
通常選擇幫浦的真空度要高於真空裝置真空度半個到乙個數量級。
2、正確地選擇真空幫浦的工作點。每種幫浦都有一定的工作壓強範圍，如：擴散幫浦為10-3~10-7mmhg，在這樣寬壓強範圍內，幫浦的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmhg。
因而，幫浦的工作點應該選在這個範圍之內，而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。又如鈦昇華幫浦可以在10-2mmhg下工作，但其工作壓強應小於1×10-5mmhg為好。
3、真空幫浦在其工作壓強下，應能排走真空裝置工藝過程中產生的全部氣體量。
4、正確地組合真空幫浦。由於真空幫浦有選擇性抽氣，因而，有時選用一種幫浦不能滿足抽氣要求，需要幾種幫浦組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦昇華幫浦對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子幫浦，（或二極型非對稱陰極濺射離子幫浦）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。
另外，有的真空幫浦不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空幫浦出口壓強低於大氣壓，需要前級幫浦，故都需要把幫浦組合起來使用。
5、真空裝置對油汙染的要求。若裝置嚴格要求無油時，應該選各種無油幫浦，如：水環幫浦、分子篩吸附幫浦、濺射離子幫浦、低溫幫浦等。
如果要求不嚴格，可以選擇有油幫浦，加上一些防油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空幫浦時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的幫浦。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在幫浦的進氣口管路上安裝輔助裝置，如冷凝器、除塵器等。
7、真空幫浦排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染，可以選無油真空幫浦，或者把油蒸氣排到室外。
真空幫浦試車方案
一 試車前的檢查 1 對照圖紙檢查系統內所有閥門的開關位置應符合開車要求 2 檢查各裝置管道閥門，分析取樣點及電器儀表須正常完好 3 徹底清除風機內外的灰塵和雜物，並避免混入油 4 電機進線 接地線完整，地腳螺絲無鬆動 5 檢查油位正常，油質良好，加油螺塞和放油閥嚴密，無滲漏現象 6 與各相關部門或...
真空幫浦工作原理
1 如圖為旋片幫浦的工作原理表示圖，旋片幫浦主要由定子 轉子 旋片 定蓋 彈簧等零件組成。其構造是應用偏心腸裝在定子腔內的轉子 子的外圓與定子的內外表相切兩者之間的間隙十分小 和轉子槽內滑動的借助彈簧張力和向心力緊貼在定子內壁的兩塊旋片，當轉子旋轉時，一直沿定子的內壁滑動。兩個旋片把轉子 定子內腔和...
真空幫浦的選擇
1 玻義爾定律 體積v，壓強p，p v 常數 一定質量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。即p1 p2 v2 v1 2 蓋 呂薩克定律 當壓強p不變時，一定質量的氣體，其體積v與絕對溫度t成正比 v1 v2 t1 t2 常數 當壓強不變時，一定質量的氣體，溫度每公升高 或p降低 1 ...