無塵車間淨化對濕度控制的知識大全

2021-04-04 21:14:49 字數 445 閱讀 3325

在相對濕度較高的環境中,濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連線鍵,可以增加顆粒與矽質表面的黏附力。相對濕度小於50%時並不重要,但當相對濕度在70%左右時,就成為顆粒之間黏附的主要力量。

到目前為止,在半導體無塵車間、潔淨室中最迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由於光刻膠對相對濕度極為敏感的特性,它對相對濕度的控制範圍的要求是最嚴格的水準。

實際上,相對濕度和溫度對於光刻膠穩定性以及精確的尺寸控制都是很關鍵的。甚至是在恆溫條件下,光刻膠的粘性將隨著相對濕度的上公升而迅速下降。當然,改變粘性,就會改變由固定組分塗層形成的保護膜的厚度。

相對濕度的3%的變異將使保護厚度改變59.2a。

此外,在高的相對濕度環境下,由於水分的吸收,使烘烤迴圈後光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易,甚至不需要聚合改性劑,如六甲基二矽氮烷(hmds)。

人和淨化無塵車間材料選擇注意

無塵車間的應用很廣泛,對於一些精密電子產業和製造醫藥用品上更應該注意無塵車間材料選擇。一般無塵車間需用石膏板時必須用防水石膏板。一般無塵車間需用石膏板時必須用防水石膏板,而對於生物無塵車間由於經常用水擦洗和用消毒液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規定生物無塵車間不應採用石膏板作罩面材...

淨化無塵車間 室 管理制度

1.進入無塵車間 室 前,必須知會管理人。2.進入無塵車間 室 嚴禁吸菸,吃 飲 食,外來雜物 如手機,報紙,鉛筆.等 不可攜入,並嚴禁奔跑及團聚談天。3.進入無塵車間 室 前,需在規定之處所脫鞋,將鞋置於鞋櫃內,外衣置於衣櫃內,私人物品置於私人櫃內,櫃內不可放置食物。4.進入無塵車間 室 須先在更...

人和淨化無塵車間設計要求有3點

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