真空閥門的幾種典型結構

（6）翻板閥

圖9、10、11是三種，不同結構的真空翻板閥。它們都是用壓縮空氣為動力源。在閥門開啟或關閉的過程中，閥板的運動有乙個翻轉過程。

能翻轉乙個角度。在圖10的結構中，靠滾輪將閥蓋擋翻，在這種結構的閥門中，閥蓋不能翻轉90o。圖9的結構，閥蓋的翻轉靠四連桿機構實現，閥蓋能實現90o翻轉。

圖11的翻板閥是蚌線機構。這種閥門結構簡單，總高度低，閥板能翻轉90o，是我國2023年首創的。在翻板閥中，閥板翻轉90o時，流導較大。

(7)電磁閥

真空閥門的驅動方式為磁力驅動的即為電磁閥。電磁真空閥的密封機構與擋板閥相同，如圖12所示。平時，電磁閥的閥蓋靠彈簧壓緊封住管路通道，需要開啟時，將電磁線圈接通電流，磁力即吸引銜鐵，帶動閥蓋，將閥門開啟。

有的電磁真空閥設計成帶充氣的。稱為電磁真空帶充氣閥，是專門安裝在油封式機械幫浦入口管路上的專用閥門。閥門與幫浦接在同一電源上，幫浦的啟動與停止直接控制了閥的開啟與關閉。

當幫浦停止工作或電源突然中斷時，閥能自動將真空管路封閉，並將大氣通過幫浦的進氣口充入幫浦腔，避免幫浦油返流汙染真空系統。

(8)針閥

圖13是乙個超高真空針閥。針閥是一種微調閥，其閥塞為針形，主要用作調節氣流量。微調閥要求閥口開啟逐漸變大，從關閉到開啟最大能連續細微地調節。

針形閥塞即能實現這種功能。針形閥塞一般用經過淬火的鋼製長針，而閥座是用錫、銅等軟質材料製成。閥針與閥座問的密封是依靠其錐面緊密配合達到的。

閥針的錐度有1：50和6o錐角兩種，錐表面要經過精細研磨。圖中的閥杆與閥座問的密封是靠波紋管實現的。

(9)超高真空閥

通常的高、低真空閥門，密封墊圈的材料為橡膠，不能承受高溫烘烤。因而不能使用在超高真空裝置上。能使用在超高真空裝置上的超高真空閥門必須滿足：

(1)能承受高溫(400～450℃)多次烘烤；(2)放氣量小，氣密性好；(3)重複性好；(4)流導大。

圖14是超高真空閥門的一種。其主要部件是無氧銅閥蓋，不鏽鋼閥體和傳動導向機構。閥座刀口型式為直角，擋板起保證閥門重複性的作用，即刀口在閥蓋上壓出的刀痕每次都能重合。

(10)玻璃真空活塞

玻璃活塞山開有孔的錐形芯子及帶有連線管的外套組成，芯子與外套之間的接觸面是磨光面，其問塗以真空封脂以取得密封。氣體的通路由芯子上的孔和所對準的連線管決定，轉動芯子便可控制氣體通路。因用封脂密封，芯子與外套之間就不會漏氣。

圖15是典型的玻璃真空活塞。活塞按其連線管道的數目分為二通、三通或多通活塞。二通又分為對通和直角通。

在圖15(b)中，(2)、(3)兩種較(1)的型式密封更好，因在使用中有大氣壓力將錐芯往內壓。

(11)無油玻璃真空閥

為避免真空油脂對真空環境的影響，可以採用液態金屬密封和磨砂口密封。

圖16所示是液態金屬密封的玻璃真空閥之一。當要關閉閥門時，用磁鐵將裝有液態金屬的玻璃杯提起，使上部玻璃管插入液態金屬內，便可阻斷氣路；開啟時，用磁鐵將玻璃杯放下。液態金屬一般使用鎵銦錫合金，當鎵銦錫比例為62.

5％、21.5％、16％時，其熔點只有10.7℃，在室溫下為液態，它的飽和蒸氣壓很低，甚至在500℃時仍低於10-6pa。

圖17所示是玻璃磨口密封的無油真空閥，其密封是由一半球狀玻璃閥體與一半球狀閥座之間的精密磨光面接觸來實現的。閥門的開啟和關閉仍由磁鐵從外部操縱。因是半球狀接觸，接觸面積足夠大，所以能保證良好密封。

以上兩種玻璃真空閥均可應用於超高真空系統中，但兩側不能承受大的壓強差，只能應用在兩側壓強相近(相差200～400pa以內)的場合。

玻璃真空閥只能做成小型的，大口徑的閥門必須用金屬製造。