防靜電潔淨室行業分析報告2019

2022-04-05 15:23:58 字數 899 閱讀 2470

2023年防靜電/潔淨室行業分析報告

2023年1月

防靜電/潔淨室行業主要對作業環境中的靜電或(及)塵埃進行防護,從而保證產品質量、純度,降低裝置損耗,是靜電防護和潔淨技術兩大現代科學技術的結合在工業領域的具體運用。根據下游客戶所處行業及同一企業的不同工作區域對靜電及塵埃防護的不同要求,主要可分為對靜電的防護、對塵埃的防護、對塵埃及靜電同時進行防護三種防護型別。

當兩種不同的絕緣物體相互摩擦分離時,就會各自產生數量相同、極性相反的電荷,從而形成帶電,產生靜電現象,當產生的靜電積蓄並由此產生靜電電荷放電時,就會產生靜電危害。

靜電防護技術主要是伴隨著半導體業的大發展而迅速發展起來的。隨著上世紀四十年代半導體器件的研發成功,在以後短短的幾十年時間裡,半導體、微電子、光電子行業的發展非常迅速;與此同時,靜電對積體電路、光電器件等的損害也日益突出:隨著積體電路整合度的提高,積體電路的內絕緣層越來越薄、互連導線寬度與間距越來越小,cmos 器件絕緣層的典型厚度約為0.1μm,其相應耐擊穿電壓大致為80 至100v, vmos 器件絕緣層更薄,其相應耐擊穿電壓為30v 左右,而千兆位dram 的耐擊穿電壓僅為10 至20v,這些產品的生產和運輸、儲存等過程中產生的靜電電壓遠大於上述閾值,因此可能造成器件產生擊穿(或)軟擊穿,使之失效或嚴重影響產品可靠性。

據惠普公司的調研,美國在積體電路大規模發展的初期,每年因靜電造成電子工業直接經濟損失達一百多億美元。美國第一艘阿波羅載人宇宙飛船,就是因靜電引燃液氧導致發射失敗,三名太空飛行員因此喪生。鑑於靜電危害給半導體等行業造成的巨大損失,從20 世紀60 年代初起,歐美國家開始投入大量人力和資金研究和解決半導體等行業的靜電防護問題,並由此催生了專門的防靜電行業。

經過數十年的努力,至20 世紀90 年代,靜電對半導體等行業造成損失大大減少。惠普公司對半導體、電子、光電子行業的靜電防護投入情況調研發現,每投入1 美元用於靜電防護可減少9美元損失。

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