劉春生 onpress
1、 前言
隨著著我廠對品質要求的不斷提高，蝕刻轆痕成為改善的重點物件。
為此，本部門做了本次跟進。
二、問題現狀
轆痕**
3、 問題形成機理
1、蝕刻藥水配方和蝕刻機理
在演示形成機理前，需要先介紹下蝕刻藥水的成份和反應機理
1.1、 蝕刻藥水的基本配方
a、國外主要三種配方如下：
b、國內主要三種配方如下：
1.2、 蝕刻反應機理
cucl2+4nh3→cu(nh3)4cl2
cu(nh3)4cl2+cu→2 cu(nh3)2cl蝕刻銅反應
2 cu(nh3)2cl +2nh4cl+2nh3+1/2o2→cu(nh3)4cl2+h2o ----藥水再生反應
1.3、 生產中看到藥水反應的表現
反應中，生產的cu1+(cucl)不溶解於水中，需要跟氧氣反應生產cu2+才容易溶解於水中，但是cu1+能溶解於氨水、鹽酸。
1.4、實驗室模擬
a、蝕刻藥水汙染轆仔
通過藥水對比，發現蝕刻藥水氨水揮發後，會出現沉澱。該沉澱量大會黏附蝕刻轆仔上，進而黏附金面上。
b、補加氨水實驗理論
加氨水後的效果圖：
中可以看到，滴加氨水後，渾濁的蝕刻藥水又恢復清澈。
2、生產中轆痕產生的機理
2.1、生產中轆仔表面
從工作缸內拆下的轆仔入蝕刻缸前的轆仔
入蝕刻缸前的壓轆蝕刻缸內轆仔
通過生產線轆仔，明顯看到有很多cucl/cucl2的結晶。
2.2、板麵形成轆仔痕模擬
由於蝕刻藥水在反應時會生成大量的cucl，cucl黏附轆仔上，轆仔會反粘在板麵上。
轆仔表面轆仔滾過的金面
通過模擬，看到蝕刻轆仔會將cucl黏附金面上。
四、改善方案
通過機理分析，可以看到，蝕刻必然會產生藥水結晶黏附板麵，但是氨水(鹽酸)可以溶解部分結晶。根據該原理，針對生產線進行改善該問題。
1、 生產線存在突出問題
1.1、裝置存在問題
1.2、藥水控制不完善
09年制定的指引規定，鹽酸缸換缸量為1200+/-200尺，實際生產中每天產量為17000尺左右，增加生產部操作難度。
2、改進對策
2.1、增加裝置
在氨水洗缸，流程部安裝新的氨水補加器---已經完成
2.2、蝕刻缸後增加壓水轆。
2.3、酸洗缸控制更改
a、開缸量更改，按上限開缸
b、生產中增加補加藥水
五、總結和建議
通過以上跟進和行動，目前生產出來的板已經能達到qa的要求，不需清洗板麵即可行下工序，而且經過多次與qa一起試板，不會對後工序造成影響。
對該問題，需要將轆仔由平粗麵轆仔改為圓椎型光面小轆仔，減少與板麵接觸面，將更加好的改善轆仔問題。