ESD防靜電檢測方法手冊

本規範制定了公司防靜電材料、用品、工具、防靜電接地等防靜電技術指標的檢測方法和採用的儀器。目的在於規範防靜電技術指標的檢測工作，指導現場操作。

本規範適用於公司防靜電系統各要素（包括地面、接地系統、工作台、工作椅、工位器具、物流傳遞工具、包裝材料、人員、腕帶、服裝、離子風機、防靜電工具等）的防靜電效能指標檢測。防靜電專用檢測儀器的檢測按照儀器儀表的檢測標準進行，本規範不涉及。

下列檔案中的條款通過本規範的引用而成為本規範的條款。凡是注日期的引用檔案，其隨後所有的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用於本規範，然而，鼓勵根據本規範達成協議的各方研究是否可使用這些檔案的最新版本。凡是不注日期的引用檔案，其最新版本適用於本規範。

表面電阻（su***ce resistance）：兩個特定的放置於材料同一面的電極之間的電壓與它們通過電流的比值。

體電阻（volume resistance）：單位厚度上的直流電壓，與通過材料的單位面積電流的比值，測試電極放置於材料相對面的對應位置。

接地電阻（earth resistance）：被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過渡電阻和土壤的溢流電阻之和。

摩擦起電（triboelectrification）：用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號電荷的過程。

衰減時間（decay time）：靜電電壓從峰值電壓降低到給定比例的時間。例如：在15%相對濕度的情況下，靜電電壓從2000v降低到100v的衰減時間小於等於1秒。

遮蔽洩漏電壓：因遮蔽體外部的高電場而使遮蔽體內部獲得的感應電場電壓或外部高電場穿透遮蔽體衰減的殘留電場電壓，又稱遮蔽殘餘電壓。

靜電中和（electrostatic neutralization）：帶電體上的電荷與其內部和外部相反符號的電荷（電子或離子）的復合而使所帶靜電部分或全部消失的現象。

檢驗所使用的儀器必須經計量檢定合格（有准用標籤），並在有效期內。

ut專用防靜電測試儀器主要有：簡易表面電阻測試儀、兆歐表、靜電場測試儀、離子風機離子平衡度測試儀、 charge plate monitor 156a、遮蔽殘餘電壓測試儀、腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、腕帶測試儀和人體綜合電阻測試儀的校準儀。

簡易表面電阻測試儀型號為wrstg330，測試量程為103~1012 ω，適用於測試平面材料，通過測試結果可以分辨被測材料為導體類、靜電耗散類和絕緣類。

由於靜電耗散材料的表面電阻為1×104ω ≤rs＜1×1011ω，因此wrstg330測試儀面板指示的1011 ω檔（面板的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。

簡易表面電阻測試儀配有一根專用接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔，另一度端的鱷魚夾夾在接地母線上，把表面電阻測試儀平壓在防靜電臺墊上，可以測試台墊的接地電阻。

wrstg330的外形和測試方法參見圖1。

圖1 簡易表面電阻測試儀

公司兆歐表的型號有bm80/2、41270兩種。參見圖2。